[发明专利]金刚石盘的监控方法及系统有效
| 申请号： | 202010364820.4 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN111515864B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 梁金娥;李松;张超逸;邢中豪 | 申请（专利权）人： | 华虹半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017;B24B37/005;B24B49/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 罗雅文 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种金刚石盘的监控系统及方法，涉及半导体制造领域。该监控系统包括至少包括金刚石盘检测传感器、信号转换模块、金刚石盘信号采集电路、运动控制器、中控系统、研磨盘调节器驱动系；金刚石盘检测传感器设置在研磨盘的外侧且与金刚石盘的初始位置相邻，金刚石盘上设置有检测标记，金刚石盘检测传感器根据工作指令发射检测信号，接收由金刚石盘反射回的反馈信号；将反馈信号发送至中控系统，中控系统根据反馈信号确定金刚石盘的运行状态信息；解决了目前金刚石盘的实际运行状态不能及时反馈的问题；达到了实时获取金刚石盘的运行状态，防止金刚石盘运行过程中出现异常无法及时发现，有助于优化对研磨盘上研磨垫的处理的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石 监控 方法 系统 | ||
【主权项】：
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