[发明专利]金刚石盘的监控方法及系统有效

专利信息
申请号: 202010364820.4 申请日: 2020-04-30
公开(公告)号: CN111515864B 公开(公告)日: 2022-04-05
发明(设计)人: 梁金娥;李松;张超逸;邢中豪 申请(专利权)人: 华虹半导体(无锡)有限公司
主分类号: B24B53/017 分类号: B24B53/017;B24B37/005;B24B49/00
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 罗雅文
地址: 214028 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 金刚石 监控 方法 系统
【权利要求书】:

1.一种金刚石盘的监控系统,其特征在于,至少包括金刚石盘检测传感器、信号转换模块、金刚石盘信号采集电路、运动控制器、中控系统、研磨盘调节器驱动系统;

所述金刚石盘检测传感器与所述信号转换模块连接,所述信号转换模块与所述金刚石盘信号采集电路连接,所述金刚石盘信号采集电路与运动控制器连接、所述运动控制器与所述中控系统、所述研磨盘调节器驱动系统分别连接;

所述金刚石盘检测传感器设置在研磨盘的外侧且与金刚石盘的初始位置相邻,所述金刚石盘上设置有检测标记;

所述中控系统内存储有研磨盘调节器的运动控制指令、所述研磨盘调节器的工作流程、所述研磨盘调节器中研磨头的标准运动轨迹;

所述中控系统,用于向运动控制器发送运动控制指令;

所述运动控制器,用于将接收到的运动控制指令发送至所述研磨盘调节器驱动系统;

所述研磨盘调节器驱动系统,用于根据所述运动控制指令驱动研磨盘调节器运行,所述研磨盘调节器用于带动所述金刚石盘在所述研磨盘上运动;

所述中控系统,用于根据所述研磨盘调节器的工作流程向所述金刚石盘检测传感器发送工作指令;

所述金刚石盘检测传感器,用于根据工作指令发射检测信号,接收由所述金刚石盘反射回的反馈信号;将所述反馈信号发送至所述中控系统;所述反馈信号包括所述金刚石盘上检测标记对应的目标反馈信号和检测标记以外位置对应的普通反馈信号;

所述中控系统,用于接收所述反馈信号,并根据所述反馈信号确定所述金刚石盘的运行状态信息,所述金刚石盘的运行状态信息包括所述金刚石盘的转速、所述金刚石盘的位置;所述金刚石盘的位置包括金刚石盘的中心相对于研磨盘的中心距离,以及金刚石盘相对于金刚石盘检测传感器的高度;

所述中控系统,还用于根据所述反馈信号确定同一个所述金刚石盘检测传感器连续两次检测到所述金刚石盘上检测标记的时间差,根据所述时间差确定出所述金刚石盘的转速;根据所述金刚石盘检测传感器发射检测信号的时间与接收到反馈信号的时间差定位所述金刚石盘的位置,确定出金刚石盘中心相对于研磨盘中心的距离;根据设置的金刚石盘检测传感器阵列发送回的反馈信号,确定出所述金刚石盘相对于所述金刚石盘检测传感器的高度。

2.根据权利要求1所述的金刚石盘的监控系统,其特征在于,

所述中控系统,用于根据所述研磨盘调节器的工作流程确定所述研磨头位于预设位置时,向金刚石盘检测传感器发送金刚石盘检测传感器的工作指令。

3.根据权利要求2所述的金刚石盘的监控系统,其特征在于,

所述中控系统,用于根据所述研磨盘调节器的工作流程确定所述研磨头位于预设位置时,向运动控制器发送金刚石盘检测传感器的工作指令;

所述运动控制器,用于接收并将所述金刚石盘检测传感器的工作指令发送至所述金刚石盘信号采集电路;

所述金刚石盘信号采集电路,用于通过所述信号转换模块向所述金刚石盘检测传感器发送工作指令;

所述金刚石盘检测传感器,用于通过所述信号转换模块将所述反馈信号发送至所述金刚石盘信号采集电路;

所述金刚石盘信号采集电路,用于接收并将所述反馈信号发送至所述运动控制器系统;

所述运动控制器系统,用于接收并将所述反馈信号发送至所述中控系统。

4.根据权利要求1所述的金刚石盘的监控系统,其特征在于,所述金刚石盘检测传感器,用于根据工作指令在预定时间内持续发射光信号,接收由所述金刚石盘反射回的反馈光信号;

所述光信号为窄波段红光信号。

5.根据权利要求1所述的金刚石盘的监控系统,其特征在于,所述金刚石盘检测传感器的外侧设置有透明保护罩。

6.根据权利要求1所述的金刚石盘的监控系统,其特征在于,所述金刚石盘上设置的检测标记为凸起块或凹槽或色斑块。

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