[发明专利]一种晶硅表面处理用臭氧水液体中消除气泡的方法有效
| 申请号： | 202010353777.1 | 申请日： | 2020-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN111620403B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 凡金星;王影;周宏平;许林云;杨言华 | 申请（专利权）人： | 南京林业大学 |
| 主分类号： | C02F1/20 | 分类号： | C02F1/20 |
| 代理公司： | 南京科知维创知识产权代理有限责任公司 32270 | 代理人： | 许益民 |
| 地址： | 210037 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶硅表面处理的臭氧水液体中消除气泡的装置，包括缓冲罐、气液混合器、进气口、进液口、排液管、气液混合出口、第一液位传感器、第二液位传感器以及多余气体出口；当缓冲罐内的液位到达第一液位传感器的高度，多余气体排气阀打开，当缓冲罐内的液位到达第二液位传感器的高度，多余气体排气阀关闭。本发明采用静态脱泡技术，利用液位控制的技术方式让气体自然脱泡，脱泡成本低，脱泡效果好。本装置的气体和液体进口处不需要控制，混合物流出速度是被动的，不主动控制，稳定状态下是几乎不变的，有利于工业生产中在不降低气体溶解度的情况下稳定快速地实现臭氧和液体的混合液。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 处理 臭氧 液体 消除 气泡 方法 | ||
【主权项】：
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