[发明专利]一种MEMS开关结构在审
| 申请号： | 202010353722.0 | 申请日： | 2020-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN111508781A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 卞经纬 | 申请（专利权）人： | 无锡市伍豪机械设备有限公司 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00;H01H9/30 |
| 代理公司： | 无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376 | 代理人： | 姬颖敏 |
| 地址： | 214161 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS开关结构，包括MEMS开关组件和上盖，其中所述MEMS开关组件包括基底，多晶硅层，电介质层，埋设在所述电介质层内的第一导体和第二导体，位于电介质层上的控制电极和悬臂梁，固定触点和可动触点；所述上盖设置在所述MEMS开关组件外围，用于密封所述MEMS开关组件，其包括位于最底层的临接层，位于所述临接层上的键合层及位于所述键合层上的圆片封冒，所述圆片封冒具有凹槽，所述MEMS开关组件位于凹槽内部，密封的圆片封冒内部充有灭弧气体。本发明通过优化MEMS开关结构，将MEMS开关组件设置在圆片封冒内部，并采用灭弧气体充满MEMS开关周围，降低了电弧产生的时间和几率，提高了MEMS开关的稳定性和寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 开关 结构 | ||
【主权项】：
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