[发明专利]一种MEMS开关结构

权利要求书

1.一种MEMS开关，其特征在于，包括MEMS开关组件和上盖，其中所述MEMS开关组件包括基底，位于所述基底上的多晶硅层，位于所述多晶硅层上的电介质层，埋设在所述电介质层内的第一导体和第二导体，与所述第二导体连接的固定触点，位于电介质层上的控制电极和悬臂梁，设置在所述悬臂梁前端并且与所述固定触点相对的可动触点；所述上盖设置在所述MEMS开关组件外围，用于密封所述MEMS开关组件，其包括位于最底层的临接层，位于所述临接层上的键合层及位于所述键合层上的圆片封冒，所述圆片封冒具有凹槽，所述MEMS开关组件位于凹槽内部，密封的圆片封冒内部充有灭弧气体。

2.根据权利要求1所述的MEMS开关，其特征在于，所述基底材料为硅，所述电介质层材料为二氧化硅。

3.根据权利要求2所述的MEMS开关，其特征在于，所述悬臂梁相对于所述固定触点的另一端具有固定端，所述固定端通过第一导通孔与所述第一导体连接，所述固定触点通过第二导通孔与所述第二导体连接。

4.根据权利要求3所述的MEMS开关，其特征在于，所述固定端还包括一个固定脚，固定脚上设置有一个支撑部，所述支撑部支撑所述悬臂梁。

5.根据权利要求4所述的MEMS开关，其特征在于，所述上盖和所述MEMS开关组件的电介质层对准键合。

6.根据权利要求5所述的MEMS开关，其特征在于，所述固定触点和所述可动触点材料为金，所述圆片封冒的材料为硅。

7.根据权利要求6所述的MEMS开关，其特征在于，所述临接层采用氮化硅。

8.根据权利要求7所述的MEMS开关，其特征在于，所述灭弧气体采用六氟化硫或六氟乙烷。