[发明专利]用于真空反应炉的减震装置及晶体生长炉有效
| 申请号： | 202010328829.X | 申请日： | 2020-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN111623067B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 李帅;李乃庆;李宏刚;赵建国;李函朔 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F16F9/04 | 分类号： | F16F9/04;F16L9/14;F16L55/04;C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人： | 刘德顺 |
| 地址： | 250118 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于真空反应炉的减震装置，所述减震装置包括：连接管路、第一空气垫、第二空气垫和压力控制装置，所述连接管路包括真空管路，所述真空管路外侧依次设置有阻尼减震层和空气减震层；所述连接管路用于连接真空反应炉的抽真空装置和炉体；所述第一空气垫用于容纳恒定气压的气体，所述第一空气垫连接真空反应炉抽真空装置的底部；所述第二空气垫用于容纳恒定气压的气体，所述第二空气垫连接真空反应炉炉体的底部。本发明通过在真空管路外设置阻尼减震层和空气管路层，通过真空管路的双重减震，显著降低了真空管路的震动，且将空气减震应用到晶体生长炉、真空泵和管路，使炉体内基本上处于一个静止的状态，减震效果得到大幅度地提高。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空 反应炉 减震 装置 晶体生长 | ||
【主权项】：
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