[发明专利]用于真空反应炉的减震装置及晶体生长炉

权利要求书

1.一种用于真空反应炉的减震装置，其特征在于，所述减震装置包括：

连接管路，所述连接管路包括真空管路，所述真空管路外侧依次设置有阻尼减震层和空气减震层，所述阻尼减震层与空气减震层的厚度的比例为1~3:1~5；所述连接管路用于连接真空反应炉的抽真空装置和炉体；

第一空气垫，所述第一空气垫用于容纳恒定气压的气体，所述第一空气垫连接真空反应炉抽真空装置的底部；

第二空气垫，所述第二空气垫用于容纳恒定气压的气体，所述第二空气垫连接真空反应炉炉体的底部。

2.根据权利要求1所述的减震装置，其特征在于，所述阻尼减震层的材料选自粘弹性材料。

3.根据权利要求1所述的减震装置，其特征在于，所述阻尼减震层的材料选自聚氨酯弹性体和聚乙烯醇缩丁醛中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的减震装置，其特征在于，所述阻尼减震层材料的密度为0.9~0.95g/cm³。

5.根据权利要求1所述的减震装置，其特征在于，所述空气减震层的外层材料与子午线胎的材料相同；

和/或第一空气垫和第二空气垫的材料与子午线胎的材料相同。

6.根据权利要求1所述的减震装置，其特征在于，所述阻尼减震层与空气减震层的厚度的比例为1~2:1~2。

7.根据权利要求1所述的减震装置，其特征在于，所述减震装置还包括压力控制装置，所述压力控制装置分别与空气减震层、第一空气垫和第二空气垫连接；

所述压力控制装置包括充气装置和压力控制阀，所述充气装置分别通过管路与空气减震层、第一空气垫和第二空气垫连接，所述充气装置与空气减震层、第一空气垫和第二空气垫连接的管路上均设置有压力控制阀。

8.根据权利要求1所述的减震装置，其特征在于，所述空气减震层的外侧设有连接口，所述连接口通过管路与压力控制装置连接。

9.根据权利要求1所述的减震装置，其特征在于，所述阻尼减震层和空气减震层的两端采用硬质材料封闭。

10.根据权利要求9所述的减震装置，其特征在于，所述硬质材料选自铜合金和不锈钢中的至少一种。

11.一种晶体生长炉，其特征在于，所述晶体生长炉上安装有权利要求1~6任一项所述的减震装置。

12.根据权利要求11所述的晶体生长炉，其特征在于，所述晶体生长炉包括炉体、立柱和抽真空装置；所述立柱设置于炉体的底部，用于支撑炉体；所述抽真空装置用于对炉体内抽真空；

所述连接管路的两端分别与所述炉体和抽真空装置连通；

所述第一空气垫安装于所述抽真空装置的底部；

所述第二空气垫安装于所述立柱的底部。

13.根据权利要求12所述的晶体生长炉，其特征在于，所述炉体和抽真空装置上设置有与连接管路连通的连接口，所述连接口处设置有向内凹陷的凹槽，所述凹槽内设置有O型密封圈，所述连接管路的外侧边缘与O型密封圈密封接触，所述连接管路通过卡扣固定在连接口处。

14.根据权利要求12所述的晶体生长炉，其特征在于，所述第一空气垫的横截面形状为方形，所述第二空气垫的横截面形状为圆形。

15.根据权利要求12所述的晶体生长炉，其特征在于，所述第二空气垫的数量为四个。