[发明专利]用于真空反应炉的减震装置及晶体生长炉

说明书

本发明提供了一种用于真空反应炉的减震装置，所述减震装置包括：连接管路、第一空气垫、第二空气垫和压力控制装置，所述连接管路包括真空管路，所述真空管路外侧依次设置有阻尼减震层和空气减震层；所述连接管路用于连接真空反应炉的抽真空装置和炉体；所述第一空气垫用于容纳恒定气压的气体，所述第一空气垫连接真空反应炉抽真空装置的底部；所述第二空气垫用于容纳恒定气压的气体，所述第二空气垫连接真空反应炉炉体的底部。本发明通过在真空管路外设置阻尼减震层和空气管路层，通过真空管路的双重减震，显著降低了真空管路的震动，且将空气减震应用到晶体生长炉、真空泵和管路，使炉体内基本上处于一个静止的状态，减震效果得到大幅度地提高。

技术领域

本发明涉及一种用于真空反应炉的减震装置及晶体生长炉，属于机械减震的技术领域。

背景技术

现有的晶体生长炉与真空泵连接，所述真空泵用于对晶体生长炉的炉体内部抽真空。真空泵在工作运转过程中会产生很大的震动，甚至会导致地面的震动，同时连接管道也会波及产生较大的震动，触感非常强烈，这也就导致了晶体生长炉在正常运作过程中不是处于一个稳定的状态，从而引起炉体内部温度梯度的波动以及气相的不稳定性，最严重的为炉体内产生的滞晶持续性脱落，导致的温度瞬间下降，严重影响炉体的稳定性。

目前针对真空泵的震动装置设计有采用空气减震器，以及机器震动依旧采用橡胶垫层减震，对于大型机器的减震相比之下还是空气减震器效果较为明显，但是已有设计并未将其应用至整套机器而是单独只针对真空泵，应用范围狭小。还有的采用波纹管减震以及橡胶减震，波纹管为连接真空泵管路，就目前波纹管应用来看，虽然一定程度上起到了减震效果，但是触感依旧强烈，相比之下设计较为简单，效果较好被大面积应用实施，但是对于精密设备的减震，只用波纹管是远远不够的。同时现有技术依旧采用橡胶减震的方式来减少地面震动，虽然都有所改善，但是效果并不特别好。

发明内容

为了解决上述问题，本发明提供了一种用于真空反应炉的减震装置及晶体生长炉，该减震装置综合利用空气减震和阻尼减震的方式，使得抽真空装置、炉体和管路达到了很好的减震效果；该晶体生长炉上安装有所述减震装置，能够保持该炉体内部的稳定性，使得炉体内部晶体处于一个相对稳定的生长状态。

本发明采用的技术方案如下：

根据本申请的一个方面，提供了一种用于真空反应炉的减震装置，所述减震装置包括：

连接管路，所述连接管路包括真空管路，所述真空管路外侧依次设置有阻尼减震层和空气减震层；所述连接管路用于连接真空反应炉的抽真空装置和炉体；

第一空气垫，所述第一空气垫用于容纳恒定气压的气体，所述第一空气垫连接真空反应炉抽真空装置的底部；

第二空气垫，所述第二空气垫用于容纳恒定气压的气体，所述第二空气垫连接真空反应炉炉体的底部。

进一步的，所述阻尼减震层的材料选自粘弹性材料；优选的，所述阻尼减震层的材料选自聚氨酯弹性体和聚乙烯醇缩丁醛中的至少一种；优选的，所述阻尼减震层材料的密度为0.9～0.95g/cm³。

进一步的，所述空气管路层的外层材料与子午线胎的材料相同；和/或第一空气垫和第二空气垫的材料与子午线胎的材料相同。

进一步的，所述阻尼减震层与空气减震层的厚度的比例为1～3:1～5；优选的，所述阻尼减震层与空气减震层的厚度的比例为1～2:1～2。优选的，所述阻尼减震层的厚度为0.5～3cm，所述空气减震层的厚度为0.5～3cm；优选的，所述阻尼减震层的厚度为1～1.5cm，所述空气减震层的厚度为1～1.5cm。