[发明专利]基板缺陷的检测方法及装置有效
| 申请号： | 202010321122.6 | 申请日： | 2020-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN111522156B | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 叶巧云 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G01N21/95 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 李新干 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种基板缺陷的检测方法及装置，在第一基板工序之后，识别基板在所述第一基板工序中的缺陷，生成第一工序缺陷文件，所述第一工序缺陷文件中包括第一基板工序的信息栏位和第一基板工序的第一参数信息；获取预设的所述第一基板工序的第一标准参数信息；比对所述第一参数信息和所述第一标准参数信息，确定所述第一基板工序后的基板是否需要修复；若是，发送第一修补指令至基板修复设备，以使得所述基板修复设备根据所述第一工序缺陷文件修复基板中第一基板工序存在的缺陷，通过在基板缺陷检测装置的软件中加入区分基板工序的信息栏位，避免了满足条件了的工序进行不必要的重复的修复，节约了修复产能。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
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