[发明专利]基板缺陷的检测方法及装置

说明书

本发明实施例公开了一种基板缺陷的检测方法及装置，在第一基板工序之后，识别基板在所述第一基板工序中的缺陷，生成第一工序缺陷文件，所述第一工序缺陷文件中包括第一基板工序的信息栏位和第一基板工序的第一参数信息；获取预设的所述第一基板工序的第一标准参数信息；比对所述第一参数信息和所述第一标准参数信息，确定所述第一基板工序后的基板是否需要修复；若是，发送第一修补指令至基板修复设备，以使得所述基板修复设备根据所述第一工序缺陷文件修复基板中第一基板工序存在的缺陷，通过在基板缺陷检测装置的软件中加入区分基板工序的信息栏位，避免了满足条件了的工序进行不必要的重复的修复，节约了修复产能。

技术领域

本发明涉及显示面板的生产技术领域，具体涉及一种基板缺陷的检测方法及装置。

背景技术

液晶显示面板近年来得到了飞速的发展和广泛的应用。现有市场上的液晶显示装置大部分为背光型液晶显示装置，其包括液晶显示面板及背光模组(backlight module)。通常液晶显示面板由彩膜基板(CF，Color Filter)、薄膜晶体管基板(TFT，Thin FilmTransistor)、夹于彩膜基板与薄膜晶体管基板之间的液晶(LC，Liquid Crystal)及密封框胶(Sealant)组成；其工作原理是通过在两片玻璃基板上施加驱动电压来控制液晶层的液晶分子的旋转，将背光模组的光线折射出来产生画面。

液晶显示面板的彩膜基板或阵列基板由多道工序生产，在其生产过程中，通过AOI(自动光学检测)设备承担制程缺陷检出的角色，再利用修复设备修复不良缺陷。

目前已有的基板检测技术无法识别工序名称或者能识别出基板工序名称但只能判定基板工序缺陷全部修补或者全部不修补，不能自定义的单独修补任一道基板工序。前基板工序质量缺陷修复过后留下痕迹，该痕迹在后基板工序被认为质量缺陷问题再次进入修复环节，浪费后工序修复产能。

发明内容

本发明实施例提供一种基板缺陷的检测方法及装置，旨在解决基板制程中工序缺陷的重复修复，从而引起产能浪费的问题。

为解决上述问题，第一方面，本申请提供一种基板缺陷的检测方法，包括：

在第一基板工序之后，识别基板在所述第一基板工序中的缺陷，生成第一工序缺陷文件，所述第一工序缺陷文件中包括第一基板工序的信息栏位和第一基板工序的第一参数信息；

获取预设的所述第一基板工序的第一标准参数信息；

比对所述第一参数信息和所述第一标准参数信息，确定所述第一基板工序后的基板是否需要修复；

若是，发送第一修补指令至基板修复设备，以使得所述基板修复设备根据所述第一工序缺陷文件修复基板中第一基板工序存在的缺陷。

进一步的，在第二基板工序之后，识别基板在所述第二基板工序中的缺陷，在所述第一工序记录文件的基础上生成第二工序缺陷文件，所述第二工序缺陷文件中包括第二基板工序的信息栏位和第二基板工序的参数信息；

比对所述第二参数信息和所述第二标准参数信息，确定所述第二基板工序后的基板是否需要修复；

若是，发送第二修补指令至基板修复设备，以使得所述基板修复设备根据所述第二工序缺陷文件修复基板中第二基板工序存在的缺陷

进一步的，所述第一参数信息中包括基板的各像素的第一点位信息，所述第一标准参数信息包括基板的各像素的第一标准点位信息，所述比对所述第一参数信息和所述第一标准参数信息，确定所述第一基板工序后的基板是否需要修复，包括：

分别比对所述各像素的第一点位信息和所述第一标准点位信息，以分别确定所述各像素中每个像素的第一点位信息对应的第一标准点位信息是否匹配；

若所述各像素中第一点位信息和对应的第一标准点位信息不匹配的像素数量，达到第一预设阈值，则确定所述第一基板工序后的基板需要修复。