[发明专利]铸块的切断方法在审
| 申请号: | 202010312870.8 | 申请日: | 2020-04-20 |
| 公开(公告)号: | CN112008902A | 公开(公告)日: | 2020-12-01 |
| 发明(设计)人: | 上林佳一 | 申请(专利权)人: | 信越半导体株式会社 |
| 主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04 |
| 代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 张晶;敖莲 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明提供一种铸块的切断方法。技术问题:立即把握浆料的锋利度的降低并马上将其反映于切断条件。解决方案:一种铸块的切断方法,由呈螺旋状卷绕在多个导线器间并沿轴向移动的线材形成线材列,通过一边向铸块与所述线材的接触部供给浆料,一边将所述铸块以规定的输送速度抵靠于所述线材列,从而将所述铸块切断成晶圆状,其特征在于,测量从所述铸块切出的晶圆的厚度形状,在所述切出的晶圆的包含中央部且直径比所述切出的晶圆的直径小的圆内区域中,求出最厚部分与最薄部分的差分,并基于所述差分变更后续进行切断的铸块的切断条件。 | ||
| 搜索关键词: | 切断 方法 | ||
【主权项】:
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