[发明专利]一种顶接触式气体测试腔及应用其的动态气体测试系统有效
| 申请号： | 202010312318.9 | 申请日： | 2020-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN111537670B | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 宋健;李铁;郭腾飞;王跃林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及气体测试设备领域，本发明公开了一种顶接触式气体测试腔及应用其的动态气体测试系统。该顶接触式气体测试腔包括：第一壳体，该第一壳体的顶部设有第一凹槽和探针固定孔；第二壳体，该第二壳体的底部设有第二凹槽，该第二凹槽与该第一凹槽通过该第一壳体和该第二壳体对接形成通孔；其中，该通孔的一端与供气装置连接，该通孔用于放置气体传感器和流通气体。本发明提供的顶接触式气体测试腔具有稳定时间短、测试效果好，以及与普通探针构成的气体测试系统具有成本低和占用空间小的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 接触 气体 测试 应用 动态 系统 | ||
【主权项】：
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