[发明专利]一种顶接触式气体测试腔及应用其的动态气体测试系统有效
| 申请号: | 202010312318.9 | 申请日: | 2020-04-20 |
| 公开(公告)号: | CN111537670B | 公开(公告)日: | 2022-06-10 |
| 发明(设计)人: | 宋健;李铁;郭腾飞;王跃林 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号: | G01N33/00 | 分类号: | G01N33/00 |
| 代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;贾允 |
| 地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 接触 气体 测试 应用 动态 系统 | ||
本发明涉及气体测试设备领域,本发明公开了一种顶接触式气体测试腔及应用其的动态气体测试系统。该顶接触式气体测试腔包括:第一壳体,该第一壳体的顶部设有第一凹槽和探针固定孔;第二壳体,该第二壳体的底部设有第二凹槽,该第二凹槽与该第一凹槽通过该第一壳体和该第二壳体对接形成通孔;其中,该通孔的一端与供气装置连接,该通孔用于放置气体传感器和流通气体。本发明提供的顶接触式气体测试腔具有稳定时间短、测试效果好,以及与普通探针构成的气体测试系统具有成本低和占用空间小的特点。
技术领域
本发明涉及气体测试设备领域,特别涉及一种顶接触式气体测试腔及应用其的动态气体测试系统。
背景技术
随着人类生活质量的不断提高,人们对环境空气质量的关注度越来越高,这使得室内外空气质量监测成了一项必不可少的生活需求。
动态气体测试系统是一种能够为气体检测设备提供稳定测试环境和实时样本输入的辅助装置,这类设备的稳定性和可靠性能够直接影响气体测试结果的准确度。随着气体传感技术的不断发展,其检测器件逐渐趋向于微小型化,对测试环境以及动态配气系统的要求也在逐步提升。
有机场效应晶体管气体传感器件是一项新兴的基于有机半导体材料的气体检测技术,在气体传感性能增强和柔性电子领域均有广阔的发展前景。但是不同于无机敏感材料制备的器件,有机场效应晶体管器件对测试引线的连接要求比较苛刻。为保障器件的基本电学性能,减小因电极材料与有机半导体材料功函数不同带来的接触电阻,并减小器件工作电压,有机场效应晶体管器件主要采用接触的方式进行电极连接。
然而,现有技术中的气体测试系统的测试腔室包括传感器放置区域、进气口,气体需要先通过进气口充满腔室稳定后,才能测试,然而由于气体进入气体仓后是无方向运动,需要稳定较长时间才能充满测试腔,才能测试准确,而且这种静态测试不能很好地模拟实际气流,测试效果差。
且现有测试腔室均适用于常规硅基器件,而硅基器件主要通过在器件电极上焊接引线的方式使电极与性能分析设备电连接,但有机场效应晶体管气体传感器件的电极有机材料耐热性差和熔焊性差,无法焊接引线,故使用探针台作为引线平台进行操作,但现有的探针台设备体积大、操作复杂且成本高。
发明内容
本发明要解决的是上述背景技术中的问题,本申请提供的气体测试腔气体具有稳定时间短,测试效果好,且与普通探针构成的气体测试系统具有成本低和占用空间小的特点。该顶接触式气体测试腔包括:
第一壳体,该第一壳体的顶部设有第一凹槽和探针固定孔;
第二壳体,该第二壳体的底部设有第二凹槽,该第二凹槽与该第一凹槽通过该第一壳体和该第二壳体对接形成通孔;
其中,该通孔的一端与供气装置连接,该通孔用于放置气体传感器和流通气体。
可选地,该第一凹槽包括连通的第一通气槽和第一置物槽;
该第二凹槽包括连通的第二通气槽和第二置物槽;
该第一通气槽与该第二通气槽连接形成气体通道;
该第一置物槽与该第二置物槽连接形成容纳空间,该容纳空间用于放置气体传感器;
该探针固定孔位于该第一置物槽上。
可选地,该第一置物槽的底面积为0.1~100平方厘米。
可选地,该气体通道的横截面的形状为圆形;
该气体通道的直径为0.25~2厘米。
可选地,第一壳体设有至少三个该探针固定孔;
该探针固定孔的直径为0.1~1厘米。
可选地,该第二壳体设有第一定位孔;
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