[发明专利]一种顶接触式气体测试腔及应用其的动态气体测试系统有效
| 申请号: | 202010312318.9 | 申请日: | 2020-04-20 |
| 公开(公告)号: | CN111537670B | 公开(公告)日: | 2022-06-10 |
| 发明(设计)人: | 宋健;李铁;郭腾飞;王跃林 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号: | G01N33/00 | 分类号: | G01N33/00 |
| 代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;贾允 |
| 地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 接触 气体 测试 应用 动态 系统 | ||
1.一种顶接触式气体测试腔,其特征在于,包括:
第一壳体(1),所述第一壳体(1)的顶部设有第一凹槽(11)和探针固定孔(4);
第二壳体(2),所述第二壳体(2)的底部设有第二凹槽(21),所述第二凹槽(21)与所述第一凹槽(11)通过所述第一壳体(1)和所述第二壳体(2)对接形成通孔(3);
所述第一凹槽(11)和所述第二凹槽(21)为半圆形槽;
所述第一凹槽(11)包括连通的第一通气槽(111)和第一置物槽(112);
所述第二凹槽(21)包括连通的第二通气槽(211)和第二置物槽(212);
所述第一通气槽(111)与所述第二通气槽(211)连接形成气体通道;
所述第一置物槽(112)与所述第二置物槽(212)连接形成容纳空间,所述容纳空间用于放置气体传感器;
所述探针固定孔(4)位于所述第一置物槽(112)上;
其中,所述通孔(3)的一端与供气装置(7)连接,所述通孔(3)用于放置气体传感器和流通气体。
2.根据权利要求1所述的顶接触式气体测试腔,其特征在于:所述第一置物槽(112)的底面积为0.1~100平方厘米。
3.根据权利要求1所述的顶接触式气体测试腔,其特征在于:所述气体通道的横截面的形状为圆形;
所述气体通道的直径为0.25~2厘米。
4.根据权利要求1所述的顶接触式气体测试腔,其特征在于:第一壳体(1)设有至少三个所述探针固定孔(4);
所述探针固定孔(4)的直径为0.1~1厘米。
5.根据权利要求1所述的顶接触式气体测试腔,其特征在于:所述第二壳体(2)设有第一定位孔(5);
所述第一壳体(1)设有与所述第一定位孔(5)相对应的第二定位孔(6)。
6.根据权利要求1所述的顶接触式气体测试腔,其特征在于:所述第一壳体(1)的材质为塑料、金属或者无机非金属中的一种或者多种;
所述第二壳体(2)的材质为塑料、金属或者无机非金属中的一种或者多种。
7.根据权利要求1所述的顶接触式气体测试腔,其特征在于:所述第一壳体(1)与所述第二壳体(2)的连接方式为粘接、螺接或者销接中的一种或者两种。
8.一种动态气体测试系统,其特征在于:包括供气装置(7)、性能参数分析仪(12)、气体传感器和如权利要求1-7任一项所述的顶接触式气体测试腔;
所述气体传感器(13)固定于所述顶接触式气体测试腔;
所述性能参数分析仪(12)通过探针与所述气体传感器(13)的电极连接;
所述供气装置(7)与所述通孔(3)的一端密封连接。
9.根据权利要求8所述的动态气体测试系统,其特征在于:还包括气体流量控制器(8);
所述气体流量控制器(8)用于调节所述供气装置(7)传输给所述通孔(3)的气体流量;
所述供气装置(7)包括干燥气体仓(71)和分析气体仓(72);
所述干燥气体仓(71)和所述分析气体仓(72)通过四通阀(10)与所述通孔(3)连接。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所,未经中国科学院上海微系统与信息技术研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010312318.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。





