[发明专利]一种顶接触式气体测试腔及应用其的动态气体测试系统有效

专利信息
申请号: 202010312318.9 申请日: 2020-04-20
公开(公告)号: CN111537670B 公开(公告)日: 2022-06-10
发明(设计)人: 宋健;李铁;郭腾飞;王跃林 申请(专利权)人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
主分类号: G01N33/00 分类号: G01N33/00
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫;贾允
地址: 200050 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 接触 气体 测试 应用 动态 系统
【权利要求书】:

1.一种顶接触式气体测试腔,其特征在于,包括:

第一壳体(1),所述第一壳体(1)的顶部设有第一凹槽(11)和探针固定孔(4);

第二壳体(2),所述第二壳体(2)的底部设有第二凹槽(21),所述第二凹槽(21)与所述第一凹槽(11)通过所述第一壳体(1)和所述第二壳体(2)对接形成通孔(3);

所述第一凹槽(11)和所述第二凹槽(21)为半圆形槽;

所述第一凹槽(11)包括连通的第一通气槽(111)和第一置物槽(112);

所述第二凹槽(21)包括连通的第二通气槽(211)和第二置物槽(212);

所述第一通气槽(111)与所述第二通气槽(211)连接形成气体通道;

所述第一置物槽(112)与所述第二置物槽(212)连接形成容纳空间,所述容纳空间用于放置气体传感器;

所述探针固定孔(4)位于所述第一置物槽(112)上;

其中,所述通孔(3)的一端与供气装置(7)连接,所述通孔(3)用于放置气体传感器和流通气体。

2.根据权利要求1所述的顶接触式气体测试腔,其特征在于:所述第一置物槽(112)的底面积为0.1~100平方厘米。

3.根据权利要求1所述的顶接触式气体测试腔,其特征在于:所述气体通道的横截面的形状为圆形;

所述气体通道的直径为0.25~2厘米。

4.根据权利要求1所述的顶接触式气体测试腔,其特征在于:第一壳体(1)设有至少三个所述探针固定孔(4);

所述探针固定孔(4)的直径为0.1~1厘米。

5.根据权利要求1所述的顶接触式气体测试腔,其特征在于:所述第二壳体(2)设有第一定位孔(5);

所述第一壳体(1)设有与所述第一定位孔(5)相对应的第二定位孔(6)。

6.根据权利要求1所述的顶接触式气体测试腔,其特征在于:所述第一壳体(1)的材质为塑料、金属或者无机非金属中的一种或者多种;

所述第二壳体(2)的材质为塑料、金属或者无机非金属中的一种或者多种。

7.根据权利要求1所述的顶接触式气体测试腔,其特征在于:所述第一壳体(1)与所述第二壳体(2)的连接方式为粘接、螺接或者销接中的一种或者两种。

8.一种动态气体测试系统,其特征在于:包括供气装置(7)、性能参数分析仪(12)、气体传感器和如权利要求1-7任一项所述的顶接触式气体测试腔;

所述气体传感器(13)固定于所述顶接触式气体测试腔;

所述性能参数分析仪(12)通过探针与所述气体传感器(13)的电极连接;

所述供气装置(7)与所述通孔(3)的一端密封连接。

9.根据权利要求8所述的动态气体测试系统,其特征在于:还包括气体流量控制器(8);

所述气体流量控制器(8)用于调节所述供气装置(7)传输给所述通孔(3)的气体流量;

所述供气装置(7)包括干燥气体仓(71)和分析气体仓(72);

所述干燥气体仓(71)和所述分析气体仓(72)通过四通阀(10)与所述通孔(3)连接。

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