[发明专利]喷嘴单元、坩埚、蒸发源以及蒸镀装置在审
| 申请号： | 202010304114.0 | 申请日： | 2020-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN112301313A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 市原正浩;风间良秋;菅原由季 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘日华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种喷嘴单元、坩埚、蒸发源以及蒸镀装置，其能够抑制液体状或固体状的蒸镀材料到达基板的蒸镀面。喷嘴单元设有具有喷嘴部(212)的喷嘴部件(210)，和设置在比喷嘴部件(210)更靠坩埚的容器本体的内部侧的位置的中板部件(220)，中板部件(220)具有供蒸镀材料通过的多个贯通孔(223c)，并且，从作为利用蒸镀材料蒸镀的蒸镀面上的任意位置的第一点，到达作为多个贯通孔(223c)内的任意位置的第二点的所有线段，被构成喷嘴单元(200)的多个部件中的至少任意一个部件遮挡。 | ||
| 搜索关键词： | 喷嘴 单元 坩埚 蒸发 以及 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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