[发明专利]喷嘴单元、坩埚、蒸发源以及蒸镀装置

权利要求书

1.一种喷嘴单元，安装在坩埚的容器本体的开口部，其特征在于，

具有喷嘴部件和中板部件，

所述喷嘴部件具有排出蒸镀材料的喷嘴部；

所述中板部件设置在比所述喷嘴部件更靠所述容器本体的内部侧的位置，

所述中板部件具有供蒸镀材料通过的多个贯通孔，并且，

从作为利用所述蒸镀材料蒸镀的蒸镀面上的任意位置的第一点，到达作为所述多个贯通孔内的任意位置的第二点的所有线段，被构成喷嘴单元的多个部件中的至少任意一个部件遮挡。

2.一种喷嘴单元，安装在坩埚的容器本体的开口部，其特征在于，

具有喷嘴部件和中板部件，

所述喷嘴部件具有设置有排出蒸镀材料的排出口的喷嘴部；

所述中板部件设置在比所述喷嘴部件更靠所述容器本体的内部侧的位置，

所述中板部件具有供蒸镀材料通过的多个贯通孔，并且，

从作为所述排出口的前端面上的任意位置的第三点，到达作为所述多个贯通孔内的任意位置的第二点的所有线段，被构成喷嘴单元的多个部件中的至少任意一个部件遮挡。

3.如权利要求1或者2所述的喷嘴单元，其特征在于，

所述中板部件具有凸形状部，并且，

在所述凸形状部的侧壁上设置有所述多个贯通孔。

4.如权利要求3所述的喷嘴单元，其特征在于，所述凸形状部向所述喷嘴部件侧突出。

5.一种喷嘴单元，安装在坩埚的容器本体的开口部，其特征在于，

具有喷嘴部件和中板部件，

所述喷嘴部件具有排出蒸镀材料的喷嘴部；

所述中板部件设置在比所述喷嘴部件更靠所述容器本体的内部侧的位置，

所述中板部件具有凸形状部，并且，

在所述凸形状部的侧壁设有供蒸镀材料通过的多个贯通孔。

6.如权利要求5所述的喷嘴单元，其特征在于，上述凸形状部向上述喷嘴部件侧突出。

7.根据权利要求1、2、4、5或6所述的喷嘴单元，其特征在于，所述喷嘴部件具备朝向排出蒸镀材料的排出口引导该蒸镀材料的引导壁。

8.如权利要求1、2、4、5或6所述的喷嘴单元，其特征在于，所述多个贯通孔的开口面积的总和为所述喷嘴部件中的排出口的开口面积以上。

9.如权利要求1、2、4、5或6所述的喷嘴单元，其特征在于，在所述喷嘴部件上，在所述喷嘴部的外周面侧设有沿着所述容器本体的内周面设置的受热用的筒状部。

10.如权利要求1、2、4、5或6所述的喷嘴单元，其特征在于，

在所述喷嘴部件与中板部件之间设有通过分别与这些喷嘴部件和中板部件接合而将这些喷嘴部件和中板部件连接的连接部件，

在所述连接部件上，在所述中板部件的外周面侧设有沿着所述容器本体的内周面设置的受热用的筒状部。

11.一种坩埚，其特征在于，具备容器本体和安装于所述容器本体的开口部的权利要求1～10中任一项所述的喷嘴单元。

12.一种蒸发源，其特征在于，具备权利要求11所述的坩埚和加热所述坩埚的加热体。

13.一种蒸镀装置，其特征在于，具备：腔室，以及设置在所述腔室内且对设置在所述腔室内的基板的蒸镀面进行蒸镀的权利要求12所述的蒸发源。