[发明专利]微型器件的制作方法和显示背板的制作方法在审
| 申请号： | 202010302803.8 | 申请日： | 2020-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN111490135A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 张有为;朱充沛;郁杰;张良玉;高威 | 申请（专利权）人： | 南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/48;H01L27/15;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210033 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种微型器件的制作方法和显示背板的制作方法，涉及微型发光二极管领域，微型器件的制作方法包括：S1：透明基板刻蚀形成具有多个阵列排布的高台和沟槽的衬底，高台和沟槽交错分布在衬底上；S2：在高台和沟槽上依次形成缓冲层、外延层和金属层，外延层和金属层在高台上构成第一LED，外延层和金属层在沟槽上构成第二LED；S3：激光分两次照射衬底背面，对位于高台和沟槽的衬底上的缓冲层分别进行剥离，剥离后分别用两个底部具有粘附层的暂态基板转移走高台和沟槽上带有缓冲层的LED；S4：刻蚀除去缓冲层，外延层和金属层形成微型器件；S5：解粘暂态基板上的粘附层，分离微型器件和暂态基板。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 器件 制作方法 显示 背板 | ||
【主权项】：
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