[发明专利]微型器件的制作方法和显示背板的制作方法在审
| 申请号： | 202010302803.8 | 申请日： | 2020-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN111490135A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 张有为;朱充沛;郁杰;张良玉;高威 | 申请（专利权）人： | 南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/48;H01L27/15;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210033 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微型 器件 制作方法 显示 背板 | ||
1.一种微型器件的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1：透明基板刻蚀形成具有多个阵列排布的高台和沟槽的衬底，高台和沟槽交错分布在衬底上；
S2：在高台和沟槽上依次形成缓冲层、外延层和金属层，外延层和金属层在高台上构成第一LED，外延层和金属层在沟槽上构成第二LED；
S3：激光分两次照射衬底背面，对位于高台和沟槽的衬底上的缓冲层分别进行剥离，剥离后分别用两个底部具有粘附层的暂态基板转移走高台和沟槽上带有缓冲层的LED；
S4：刻蚀除去缓冲层，外延层和金属层形成微型器件；
S5：解粘暂态基板上的粘附层，分离微型器件和暂态基板。
2.根据权利要求1所述的微型器件的制造方法，其特征在于，所述沟槽的深度大于缓冲层、外延层及金属层的叠加厚度。
3.根据权利要求1所述的微型器件的制造方法，其特征在于，所述高台和沟槽横截面相同。
4.根据权利要求1所述的微型器件的制造方法，其特征在于，所述暂态基板上的粘附层的厚度大于沟槽和第二LED的高度差。
5.根据权利要求1所述的微型器件的制造方法，其特征在于，所述步骤S2包括以下步骤：
S21：衬底上形成缓冲层，包括位于高台上的第一缓冲层和位于沟槽上的第二缓冲层；
S22：采用分子束外延法在缓冲层上形成外延层，包括位于第一缓冲层上的第一外延层和位于第二缓冲层上的第二外延层；
S23：外延层上形成金属层，包括位于第一外延层上的第一金属层和位于第二外延层上的第二金属层，所述第一外延层和第一金属层组成第一LED，所述第二外延层和第二金属层组成第二LED。
6.根据权利要求1所述的微型器件的制造方法，其特征在于，所述步骤S3包括以下步骤：
S31：衬底背面形成图案与沟槽相重叠的阻挡层；
S32：激光第一次照射衬底背面，高台上的第一缓冲层和衬底剥离，底部具有粘附层的第一暂态基板转移走第一LED及第一缓冲层；
S33：刻蚀掉衬底背面的阻挡层，激光第二次照射衬底背面，沟槽上的第二缓冲层和衬底剥离；底部具有粘附层的第二暂态基板转移走第二LED及第二缓冲层。
7.根据权利要求1所述的微型器件的制造方法，其特征在于，采用加热或UV照射的方式进行步骤S5所述的解粘暂态基板上的粘附层。
8.一种显示背板的制造方法，其特征在于，使用权利要求1-7所述的微型器件的制作方法制造微型器件，转移头分别转移解粘后的第一LED和第二LED至显示背板进行键合和封装。
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