[发明专利]一种镀膜治具和镀膜方法有效
| 申请号： | 202010283327.X | 申请日： | 2020-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN111471975B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 钟磊;李利 | 申请（专利权）人： | 甬矽电子(宁波)股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C26/00 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 唐正瑜 |
| 地址： | 315400 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请提供一种镀膜治具和镀膜方法，用于放置待镀膜元器件进行镀膜，镀膜治具包括：治具本体和压强控制装置；治具本体表面设置有至少一个安装位，安装位用于放置待镀膜元器件，且安装位上设置有通孔；治具本体内部设置有通气通道，通气通道的第一端与安装位的通孔连通，通气通道的第二端与压强控制装置连通；其中，在安装位上放置待镀膜元器件时，压强控制装置能够降低通气通道内部的压强，以使待镀膜元器件被固定在安装位上。本申请实施例通过压强控制装置使通气通道内部成负压状态，从而使得与通气通道连接的安装位可以吸附待镀膜元器件并且遮挡待镀膜元器件设置有引脚的一侧，以便对待镀膜元器件的其他侧面进行镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
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