[发明专利]一种镀膜治具和镀膜方法有效

专利信息
申请号: 202010283327.X 申请日: 2020-04-10
公开(公告)号: CN111471975B 公开(公告)日: 2022-08-02
发明(设计)人: 钟磊;李利 申请(专利权)人: 甬矽电子(宁波)股份有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C26/00
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 唐正瑜
地址: 315400 浙江省宁*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 镀膜 方法
【权利要求书】:

1.一种镀膜治具,其特征在于,用于放置待镀膜元器件进行镀膜,包括:

治具本体和压强控制装置;

所述治具本体表面设置有至少一个安装位,所述安装位用于放置待镀膜元器件,且所述安装位上设置有通孔;

所述治具本体内部设置有通气通道,所述通气通道的第一端与所述安装位的通孔连通,所述通气通道的第二端与所述压强控制装置连通;

所述压强控制装置包括气缸和气缸杆;所述气缸的第一端与所述通气通道的第二端连接;所述气缸杆的第一端位于所述气缸内部,第二端位于所述气缸外部,通过控制所述气缸和所述气缸杆之间的相对位置调节所述通气通道内部的压强;

所述气缸的第二端的内周壁设置有限位孔,所述气缸杆上设置有与所述限位孔对应的多个第一凸起,多个所述第一凸起用于与所述限位孔配合固定所述气缸杆与所述气缸的多个相对位置;

所述限位孔包括开口以及限位凹槽,所述开口用于允许所述气缸杆的所述第一凸起沿所述气缸的轴的方向进行移动,并且禁止所述气缸杆的自转;所述限位凹槽用于允许所述第一凸起随着所述气缸杆的自转进行转动一定角度,并且禁止所述气缸杆的所述第一凸起以及所述气缸杆沿所述气缸的轴的方向进行移动;

其中,在所述安装位上放置待镀膜元器件时,所述压强控制装置能够降低所述通气通道内部的压强,以使所述待镀膜元器件被固定在所述安装位上。

2.根据权利要求1所述的镀膜治具,其特征在于,所述气缸内设置有弹性体,所述弹性体的第一端与所述气缸的第一端接触,所述弹性体的第二端与所述气缸杆的第一端接触,所述弹性体用于在所述弹性体处于压缩状态,且所述第一凸起从限位孔中解除固定时,控制所述气缸杆向所述气缸的第二端方向运动。

3.根据权利要求1所述的镀膜治具,其特征在于,所述压强控制装置包括抽气泵,所述抽气泵的抽气端与所述通气通道的第二端连接。

4.根据权利要求1所述的镀膜治具,其特征在于,所述安装位设置有第二凸起,所述第二凸起用于与所述待镀膜元器件底部的凹槽嵌合。

5.根据权利要求4所述的镀膜治具,其特征在于,所述第二凸起为梯形棱台。

6.根据权利要求1所述的镀膜治具,其特征在于,所述镀膜治具还包括遮蔽板,所述遮蔽板用于在镀膜中覆盖在未安放待镀膜元器件的安装位。

7.一种镀膜方法,其特征在于,应用于采用如权利要求1-6任一项所述的镀膜治具对待镀膜元器件进行镀膜,包括:

将所述待镀膜元器件放置在镀膜治具的安装位上;

通过镀膜治具的压强控制装置调整与所述安装位连接的通气通道内的压强,以使所述安装位吸附所述待镀膜元器件;

对安装在所述镀膜治具上的待镀膜元器件进行镀膜,得到已镀膜元器件。

8.根据权利要求7所述的镀膜方法,其特征在于,所述对安装在所述镀膜治具上的待镀膜元器件进行镀膜之后,所述方法还包括:

通过镀膜治具的压强控制装置调整与所述安装位连接的通气通道内的压强,以使所述安装位松开所述已镀膜元器件;

从安装位上拆卸所述已镀膜元器件。

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