[发明专利]蒸发源装置在审
| 申请号： | 202010259716.9 | 申请日： | 2020-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN111334758A | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 汪国杰 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 徐世俊 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种蒸发源装置，本申请中每一排中主坩埚和辅助坩埚的喷嘴位于相同高度，线性交替排列，主坩埚和辅助坩埚的蒸镀区域完全重合，解决了掺杂蒸镀多种材料的膜层均一性差及膜层的性质不同的技术问题，从而改善OLED器件的显示质量和寿命，提高OLED器件的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
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