[发明专利]倒装发光二极管芯片及其制作方法在审
申请号: | 202010227109.4 | 申请日: | 2020-03-27 |
公开(公告)号: | CN111540818A | 公开(公告)日: | 2020-08-14 |
发明(设计)人: | 兰叶;黄磊;张威;吴志浩;李鹏 | 申请(专利权)人: | 华灿光电(浙江)有限公司 |
主分类号: | H01L33/36 | 分类号: | H01L33/36;H01L33/40;H01L33/42;H01L33/44;H01L33/00 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 吕耀萍 |
地址: | 322000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本公开提供了一种倒装发光二极管芯片及其制作方法,属于半导体技术领域。芯片包括衬底、N型半导体层、有源层、P型半导体层、第一透明导电层、第二透明导电层、透明介质层、反射电极、连接电极和DBR层;第一透明导电层和第二透明导电层的材料均为ITO,第二透明导电层中的氧含量小于第一透明导电层中的氧含量;N型半导体层、有源层和P型半导体层依次层叠在衬底上,P型半导体层上设有凹槽和隔离槽;第一透明导电层铺设在P型半导体层上,第二透明导电层和透明介质层设置在第一透明导电层上;反射电极铺设在第二透明导电层和透明介质层上,连接电极设置在N型半导体层上;DBR层铺设在凹槽和隔离槽的各个表面上,可提高芯片的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 倒装 发光二极管 芯片 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
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