[发明专利]一种基板传送机构

摘要

本发明公开了一种基板传送机构，包括平移装置，包括第一端和第二端；第一升降装置，设置于平移装置下方，且与平移装置第一端相对设置；第二升降装置，设置于平移装置下方，且与平移装置第二端相对设置；以及载台，可拆卸式安装至平移装置顶部、第一升降装置顶部或第二升降装置顶部；当载台被安装至平移装置顶部时，载台从平移装置第一端滑动至平移装置第二端。本发明的有益效果在于，本发明中的基板传送结构通过对位夹具夹紧基板，避免基板在载台上滑动，提高了基板的使用寿命和良品率，对位夹具可向四周收缩移动，能够对应不同尺寸的基板，降低制程成本，采用双层载台替换的方式，节约了成本，有利于实现大批量生产。