[发明专利]一种基板传送机构

说明书

本发明公开了一种基板传送机构，包括平移装置，包括第一端和第二端；第一升降装置，设置于平移装置下方，且与平移装置第一端相对设置；第二升降装置，设置于平移装置下方，且与平移装置第二端相对设置；以及载台，可拆卸式安装至平移装置顶部、第一升降装置顶部或第二升降装置顶部；当载台被安装至平移装置顶部时，载台从平移装置第一端滑动至平移装置第二端。本发明的有益效果在于，本发明中的基板传送结构通过对位夹具夹紧基板，避免基板在载台上滑动，提高了基板的使用寿命和良品率，对位夹具可向四周收缩移动，能够对应不同尺寸的基板，降低制程成本，采用双层载台替换的方式，节约了成本，有利于实现大批量生产。

技术领域

本申请涉及传送机构领域，具体涉及一种基板传送机构。

背景技术

目前湿制程设备内部采用shaft(轴)+roller(滚轮)的形式进行玻璃基板的传送，roller与玻璃基板之间容易出现打滑现象(常见于大世代基板)，从而造成基板在制程腔室的实际反应时间加长，造成O/E；同时，较长的干段传输易发生静电击伤，造成制程报废。

现有传送模式需要大量的Guide Roller(导向轮)和Double Roller(双滚轮)用以保证基板对位，易发生破片问题，并会在Double Roller经过的区域留下印迹，对制程造成干扰。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种基板传送机构，用以解决现有技术中的基板传送机构采用单层载台从而使制程效率过低的技术问题。

解决上述技术问题的技术方案是：本发明提供了一种基板传送机构，包括平移装置，水平设置，所述平移装置包括第一端和第二端；第一升降装置，设置于所述平移装置下方，且与所述平移装置第一端相对设置；第二升降装置，设置于所述平移装置下方，且与所述平移装置第二端相对设置；以及载台，可拆卸式安装至所述平移装置顶部、所述第一升降装置顶部或第二升降装置顶部；当所述载台被安装至所述平移装置顶部时，所述载台从所述平移装置第一端滑动至所述平移装置第二端。

进一步的，基板传送机构还包括对位夹具，设于所述载台上表面，用于将基板固定在所述载台上。

进一步的，所述平移装置为导轨。

进一步的，所述平移装置为传送带。

进一步的，基板传送机构还包括转移装置，当所述第一升降装置顶部升高至与所述平移装置平齐时，将所述载台从所述第一升降装置顶部转移至所述平移装置上；

当所述第二升降装置顶部升高至与所述平移装置平齐时，将所述载台从所述平移装置转移至所述第二升降装置顶部。

进一步的，所述转移装置为机械手。

进一步的，基板传送机构还包括喷淋装置，设于所述载台上方，所述喷淋装置包括喷淋导管，其两端沿水平方向延伸；以及若干喷嘴，均匀设于所述喷淋导管上，每一喷嘴连通至所述喷淋导管，其喷口朝向所述载台。

进一步的，所述第一升降装置和所述第二升降装置均包括顶杆和顶缸，所述顶杆可拆卸式连接至一载台，所述顶缸被安装至地面，所述顶杆可带动所述载台在竖直方向上进行升降运动。

进一步的，所述载台包括若干平行排列的长轴，每一长轴的中轴线方向与所述喷淋导管的中轴线方向垂直；以及若干滚轮，每一滚轮中轴线均与一长轴的中轴线在同一直线上。

进一步的，基板传送机构还包括吹风装置，设于所述第二端，设于所述载台靠近所述对位夹具一侧，用以对所述载台表面进行吹风处理。

有益效果

本发明的有益效果在于，本发明中的基板传送结构通过对位夹具夹紧基板，避免基板在载台上滑动，提高了基板的使用寿命和良品率，对位夹具可向四周收缩移动，能够对应不同尺寸的基板，降低制程成本，采用双层载台替换的方式，节约了成本，有利于实现大批量生产。