[发明专利]一种基板传送机构

权利要求书

1.一种基板传送机构，其特征在于，包括

平移装置，水平设置，所述平移装置包括第一端和第二端；

第一升降装置，设置于所述平移装置下方，且与所述平移装置第一端相对设置；

第二升降装置，设置于所述平移装置下方，且与所述平移装置第二端相对设置；以及

载台，可拆卸式安装至所述平移装置顶部、所述第一升降装置顶部或第二升降装置顶部；当所述载台被安装至所述平移装置顶部时，所述载台从所述平移装置第一端滑动至所述平移装置第二端。

2.根据权利要求1所述的基板传送机构，其特征在于，还包括

对位夹具，设于所述载台上表面，用于将基板固定在所述载台上。

3.根据权利要求1所述的基板传送机构，其特征在于，

所述平移装置为导轨。

4.根据权利要求1所述的基板传送机构，其特征在于，

所述平移装置为传送带。

5.根据权利要求1所述的基板传送机构，其特征在于，还包括

转移装置，当所述第一升降装置顶部升高至与所述平移装置平齐时，将所述载台从所述第一升降装置顶部转移至所述平移装置上；

当所述第二升降装置顶部升高至与所述平移装置平齐时，将所述载台从所述平移装置转移至所述第二升降装置顶部。

6.根据权利要求5所述的基板传送机构，其特征在于，所述转移装置为机械手。

7.根据权利要求1所述的基板传送机构，其特征在于，还包括

喷淋装置，设于所述载台上方，所述喷淋装置包括

喷淋导管，其两端沿水平方向延伸；以及

若干喷嘴，均匀设于所述喷淋导管上，每一喷嘴连通至所述喷淋导管，其喷口朝向所述载台。

8.根据权利要求1所述的基板传送机构，其特征在于，

所述第一升降装置和所述第二升降装置均包括顶杆和顶缸，所述顶杆可拆卸式连接至一载台，所述顶缸被安装至地面，所述顶杆可带动所述载台在竖直方向上进行升降运动。

9.根据权利要求7所述的基板传送机构，其特征在于，所述载台包括

若干平行排列的长轴，每一长轴的中轴线方向与所述喷淋导管的中轴线方向垂直；以及

若干滚轮，每一滚轮中轴线均与一长轴的中轴线在同一直线上。

10.根据权利要求2所述的基板传送载台，其特征在于，还包括

吹风装置，设于所述第二端，设于所述载台靠近所述对位夹具一侧，用以对所述载台表面进行吹风处理。