[发明专利]探针间距校准方法、接触电阻率和界面电阻率的测试方法有效
| 申请号： | 202010216545.1 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN111487465B | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 胡晓凯 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343 | 代理人： | 尚志峰;王淑梅 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种探针间距的校准方法、一种接触电阻率的测试方法和一种界面电阻率的测试方法，探针间距的校准方法包括将探针之间的间距调整为多个不同的预设间距，获取任一预设间距下测试第一样品所得的第一电阻；根据多个预设间距以及相对应的预设间距下所测得的第一电阻确定第一电阻与预设间距之间的第一线性关系；根据第一预设公式推导出第一电阻与预设间距之间的第一数学关系式，根据第一线性关系与第一数学关系式之间的对应关系，确定探针的间距误差；根据预设间距与间距误差确定探针的实际间距。本发明提供的探针间距的校准方法，消除了测量时由于探针形变或针尖面积而导致的探针实际间距与预设间距之间存在的误差，提高了仪器的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 间距 校准 方法 接触 电阻率 界面 测试 | ||
【主权项】：
暂无信息
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