[发明专利]探针间距校准方法、接触电阻率和界面电阻率的测试方法

说明书

本发明提供了一种探针间距的校准方法、一种接触电阻率的测试方法和一种界面电阻率的测试方法，探针间距的校准方法包括将探针之间的间距调整为多个不同的预设间距，获取任一预设间距下测试第一样品所得的第一电阻；根据多个预设间距以及相对应的预设间距下所测得的第一电阻确定第一电阻与预设间距之间的第一线性关系；根据第一预设公式推导出第一电阻与预设间距之间的第一数学关系式，根据第一线性关系与第一数学关系式之间的对应关系，确定探针的间距误差；根据预设间距与间距误差确定探针的实际间距。本发明提供的探针间距的校准方法，消除了测量时由于探针形变或针尖面积而导致的探针实际间距与预设间距之间存在的误差，提高了仪器的测量精度。

技术领域

本发明涉及电阻率的测量技术领域，具体而言，涉及到一种探针间距校准方法、一种接触电阻率的测试方法和一种界面电阻率的测试方法。

背景技术

相关技术中，由于塞贝克系数与体电阻率测试仪的探针悬空部分较长，探针会发生弯曲，或者由于探针外包的陶瓷管的弯曲，导致探针之间的实际间距与探针的预设间距之间存在误差，或者探针针尖面积较大，从而导致仪器的测量结果出现误差。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本发明的第一方面提出了一种探针间距校准方法。

本发明的第二方面提出了一种接触电阻率的测试方法。

本发明的第三方面提出了一种界面电阻率的测试方法。

有鉴于此，本发明的第一方面提供了一种探针间距的校准方法，用于塞贝克系数与体电阻率测试仪，包括：将探针之间的间距调整为多个不同的预设间距，获取任一预设间距下测试第一样品所得的第一电阻；根据多个预设间距以及相对应的预设间距下所测得的第一电阻确定第一电阻与预设间距之间的第一线性关系；根据第一预设公式推导出第一电阻与预设间距之间的第一数学关系式，根据第一线性关系与第一数学关系式之间的对应关系，确定探针的间距误差；根据预设间距与间距误差确定探针的实际间距。

本发明提供的探针间距的校准方法，用于塞贝克系数与体电阻率测试仪，首先将探针之间的间距调整为一个预设间距，测量第一样品的电阻，记录预设间距和对应测得的第一电阻，然后调整探针间距为其它不同的预设间距，再次测量第一样品的电阻，记录预设间距和相对应的第一电阻，多次调整预设间距并测量第一样品的电阻值，获得不同预设间距相对应的第一电阻值，从而获得第一电阻与预设间距之间的第一线性关系。进一步地，根据第一预设公式可以推导出第一电阻与预设间距之间的第一数学关系式，可知，第一线性关系与第一数学关系式均为第一电阻和预设间距之间的数学关系式，由此，可以根据第一线性关系和第一数学关系式之间的对应关系，确定探针之间的间距误差，进而根据间距误差和预设间距确定探针之间的实际间距。本发明提供的探针间距的校准方法，通过多次测量同一样品，从而获得电阻与预设间距之间的线性关系，并根据预设公式推导出电阻与预设间距之间的数学关系式，再将根据线性关系和数学关系式之间的对应关系，可以确定探针之间的间距误差，进而确定探针之间的实际间距。消除了测量时由于探针形变而或针尖面积导致的探针实际间距与预设间距之间存在的误差，提高了仪器的测量精度。

具体地，第一样品为标准均匀的半导体材料或金属材料。

具体地，以预设间距L₁为横坐标、第一电阻R₁为纵坐标建立平面直角坐标系，并根据L₁及相对应的R₁获得第一电阻与预设间距之间的第一线性关系为：R₁＝aL₁+b，其中a为第一线性关系的斜率，b为第一线性关系的截距。

另外，本发明提供的上述技术方案中的探针间距的校准方法还可以具有如下附加技术特征：