[发明专利]探针间距校准方法、接触电阻率和界面电阻率的测试方法有效
申请号: | 202010216545.1 | 申请日: | 2020-03-25 |
公开(公告)号: | CN111487465B | 公开(公告)日: | 2022-08-26 |
发明(设计)人: | 胡晓凯 | 申请(专利权)人: | 桂林电子科技大学 |
主分类号: | G01R27/02 | 分类号: | G01R27/02;G01R1/067 |
代理公司: | 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343 | 代理人: | 尚志峰;王淑梅 |
地址: | 541004 广西*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 探针 间距 校准 方法 接触 电阻率 界面 测试 | ||
1.一种接触电阻率的测试方法,用于塞贝克系数与体电阻率测试仪,其特征在于,包括:
利用探针间距的校准方法,确定任一预设间距相对应的实际间距;
将所述探针之间的间距调整为多个不同的所述预设间距,获取任一所述预设间距下测量第二样品所得的第二电阻;
根据多个所述第二电阻以及所述预设间距相对应的所述实际间距,确定所述第二电阻与所述实际间距之间的第二线性关系;
根据第一预设公式推导出所述第二电阻与所述实际间距之间的第二数学关系式;
根据所述第二线性关系与所述第二数学关系式之间的对应关系,确定所述第二样品的界面电阻;
根据第二预设公式和所述界面电阻确定所述第二样品的接触电阻率;
所述探针间距的校准方法,包括:
将所述探针之间的间距调整为多个不同的所述预设间距,获取任一所述预设间距下测试第一样品所得的第一电阻;
根据多个所述预设间距以及相对应的所述预设间距下所测得的所述第一电阻确定所述第一电阻与所述预设间距之间的第一线性关系;
根据第一预设公式推导出所述第一电阻与所述预设间距之间的第一数学关系式;
根据所述第一线性关系与所述第一数学关系式之间的对应关系,确定所述探针的间距误差;
根据所述预设间距与所述间距误差确定所述探针的所述实际间距。
2.根据权利要求1所述的接触电阻率的测试方法,其特征在于,所述根据所述第二线性关系与所述第二数学关系式之间的对应关系,确定所述第二样品的界面电阻的步骤,具体包括:
所述第二线性关系的斜率等于所述第二数学关系式的第二斜率;
所述第二线性关系的截距等于所述第二数学关系式的第二截距;
根据所述第二数学关系式确定所述界面电阻。
3.根据权利要求1所述的接触电阻率的测试方法,其特征在于,所述将所述预设间距调整为多个不同距离,获取任一所述预设间距下测量第二样品所得的第二电阻的步骤,具体包括:
多个不同的所述预设间距分别为4mm、6mm和8mm;
以所述预设间距为4mm、6mm和8mm分别测试所述第二样品的所述第二电阻。
4.根据权利要求2所述的接触电阻率的测试方法,其特征在于,
所述第一预设公式为
所述第二数学关系式为:
其中,R2为所述第二电阻,Li为所述实际间距,ρ2为所述第二样品的电阻率,A2为所述第二样品的横截面积,Ri为所述界面电阻,t为所述第二样品的焊接层厚度,为所述第二斜率,为所述第二截距。
5.根据权利要求1所述的接触电阻率的测试方法,其特征在于,所述第二预设公式为:
ρc=0.5Ri×A2;
其中,ρc为所述接触电阻率,Ri为所述界面电阻,A2为所述第二样品的横截面积。
6.根据权利要求1所述的接触电阻率的测试方法,其特征在于,所述根据所述第一线性关系与所述第一数学关系式之间的对应关系,确定所述探针的间距误差的步骤,具体包括:
所述第一线性关系的斜率等于所述第一数学关系式的第一斜率;
所述第一线性关系的截距等于所述第一数学关系式的第一截距;
根据所述第一数学关系式确定所述探针的间距误差。
7.根据权利要求1所述的接触电阻率的测试方法,其特征在于,所述将所述探针之间的间距调整为多个不同的预设间距,获取任一所述预设间距下测试第一样品所得的第一电阻的步骤,具体包括:
多个不同的所述预设间距分别为4mm、6mm和8mm;
以所述预设间距为4mm、6mm和8mm分别测试所述第一样品的所述第一电阻。
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