[发明专利]一种铝基片厚度高精度在线快速测量装置及测量方法有效
| 申请号： | 202010157748.8 | 申请日： | 2020-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN111156910B | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 张大兴;高宏伟;冯兰胜;章云 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 姚咏华 |
| 地址： | 710071 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铝基片厚度高精度在线快速测量装置及测量方法，包括安装在基础平台上的水平驱动装置、垂直驱动装置和传送轨，水平驱动装置上设有一对姿态调整装置，每个姿态调整装置上安装有激光出射头，一对激光出射头上分别连接有光纤；垂直驱动装置上安装有凸轮组合、杠杆组合和导向基座；所述导向基座中贯穿有导向杆；通过动力机构驱动凸轮组合带动杠杆组合顶起导向杆，从而逐个带动若干铝基片依次上升至一对激光出射头对射进行铝基片厚度的测量。测量装置结构紧凑，实现了整盒铝基片的在线实时厚度测量，测量精度高，速度快，提高了铝基片厚度的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铝基片 厚度 高精度 在线 快速 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
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