[发明专利]一种铝基片厚度高精度在线快速测量装置及测量方法有效

专利信息
申请号: 202010157748.8 申请日: 2020-03-09
公开(公告)号: CN111156910B 公开(公告)日: 2021-03-30
发明(设计)人: 张大兴;高宏伟;冯兰胜;章云 申请(专利权)人: 西安电子科技大学
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 姚咏华
地址: 710071 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 铝基片 厚度 高精度 在线 快速 测量 装置 测量方法
【权利要求书】:

1.一种铝基片厚度高精度在线快速测量装置,其特征在于,包括安装在基础平台(10)上的水平驱动装置(3)、垂直驱动装置(13)和传送轨(4),所述传送轨(4)位于水平驱动装置(3)前侧部,垂直驱动装置(13)位于水平驱动装置(3)和传送轨(4)之间;

所述水平驱动装置(3)上设有一对姿态调整装置(2),每个姿态调整装置(2)上安装有激光出射头(5),一对激光出射头(5)上分别连接有光纤(6);

所述垂直驱动装置(13)上安装有凸轮组合(16)、杠杆组合(20)和导向基座(12);所述导向基座(12)中贯穿有导向杆(19);所述凸轮组合(16)连接杠杆组合(20),杠杆组合(20)连接至导向杆(19),导向杆(19)上安装有铝基片托(18),铝基片托(18)上方与料盒(7)中的铝基片(11)对接;

通过动力机构驱动凸轮组合(16)带动杠杆组合(20)顶起导向杆(19),从而逐个带动若干铝基片(11)依次上升至一对激光出射头(5)对射位置进行铝基片(11)厚度的测量;

所述凸轮组合(16)包括若干个连接在凸轮转动轴上的凸轮,每两个凸轮一组以凸轮凸起呈螺旋线分布方式固定在凸轮转动轴上,凸轮转动轴与电机(14)的传动系统(15)相连。

2.根据权利要求1所述的铝基片厚度高精度在线快速测量装置,其特征在于,所述水平驱动装置(3)和垂直驱动装置(13)由伺服电缸直驱。

3.根据权利要求1所述的铝基片厚度高精度在线快速测量装置,其特征在于,一对姿态调整装置(2)安装在水平驱动装置(3)上方的支架上,每个姿态调整装置(2)上的激光出射头(5)在同一水平线上,且一对激光出射头(5)位于传送轨(4)上方。

4.根据权利要求1所述的铝基片厚度高精度在线快速测量装置,其特征在于,所述杠杆组合(20)包括连接在凸轮转动轴下方的杠杆固定轴,若干个杠杆分别独立地连接在杠杆固定轴上,杠杆另一端与导向基座(12)中贯穿的导向杆(19)对接。

5.根据权利要求1所述的铝基片厚度高精度在线快速测量装置,其特征在于,所述导向基座(12)为框型架,在框型架顶部设有若干穿孔,导向杆(19)贯穿在若干穿孔中。

6.根据权利要求1所述的铝基片厚度高精度在线快速测量装置,其特征在于,所述导向杆(19)上安装有铝基片托(18),铝基片托(18)用于顶起传送轨(4)上放置的料盒(7)中的铝基片(11)。

7.一种权利要求1-6任一项所述铝基片厚度高精度在线快速测量装置的测量方法,其特征在于,包括如下步骤:

1)传送轨(4)将放置有铝基片(11)的料盒(7)传送至测量位置,定位气缸(9)将料盒(7)固定;

2)垂直驱动装置(13)驱动底座(21)由上电初始位置上升至垂直初始位置,水平驱动装置(3)将支架(1)移动至水平初始位置;

3)电机(14)驱动凸轮组合(16)转动,通过杠杆组合(20)顶起第一个导向杆(19),带动第一片铝基片(11)上升至垂直测量位置进行厚度测量;随后第一片铝基片下降,第二片铝基片顶起,进行第二片铝基片的厚度测量,以此类推,完成料盒中所有铝基片厚度的测量;

4)完成所有铝基片厚度测量后,垂直驱动装置(13)下降至上电初始位置,水平驱动装置(3)移动至水平初始位置,定位气缸(9)松开,传送轨(4)将料盒(7)传送至下一工位。

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