[发明专利]一种铝基片厚度高精度在线快速测量装置及测量方法有效

专利信息
申请号: 202010157748.8 申请日: 2020-03-09
公开(公告)号: CN111156910B 公开(公告)日: 2021-03-30
发明(设计)人: 张大兴;高宏伟;冯兰胜;章云 申请(专利权)人: 西安电子科技大学
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 姚咏华
地址: 710071 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 铝基片 厚度 高精度 在线 快速 测量 装置 测量方法
【说明书】:

发明公开了一种铝基片厚度高精度在线快速测量装置及测量方法,包括安装在基础平台上的水平驱动装置、垂直驱动装置和传送轨,水平驱动装置上设有一对姿态调整装置,每个姿态调整装置上安装有激光出射头,一对激光出射头上分别连接有光纤;垂直驱动装置上安装有凸轮组合、杠杆组合和导向基座;所述导向基座中贯穿有导向杆;通过动力机构驱动凸轮组合带动杠杆组合顶起导向杆,从而逐个带动若干铝基片依次上升至一对激光出射头对射进行铝基片厚度的测量。测量装置结构紧凑,实现了整盒铝基片的在线实时厚度测量,测量精度高,速度快,提高了铝基片厚度的测量精度。

技术领域

本发明属于机电一体化技术领域,涉及一种铝基片厚度高精度在线快速测量装置及测量方法,主要用于但不限于电子信息、微电子、智能制造等领域。

背景技术

机械硬盘由于其数据可恢复性的特点,在数据中心等应用领域有固态硬盘不可替代的优势,依然保持强劲的出货需求。随着电子信息、微电子以及智能制造技术的不断发展以及对硬盘容量、存取速度和便携性需求的不断提高,机械硬盘单碟盘片的厚度不断降低,转速不断提高。

铝基片是机械硬盘的盘片的主要原材料之一,目前不同规格的铝基片厚度差别最小已经达到几十微米,常规的目检方式已经无法区分,很容易造成混料的情况。另外,随着对硬盘性能要求的不断提高,对铝基片厚度尺寸的一致性要求也越来越高,目前行业普遍采用的离线抽检方式已经满足不了当前的性能要求,开发一种在线高精度厚度自动测量系统成为该领域亟待解决的问题。

发明内容

为解决现有技术中存在的上述缺陷,本发明的目的在于提供一种铝基片厚度高精度在线快速测量装置及测量方法,以满足对整盒铝基片硬盘的在线实时厚度测量的要求。采用本发明方法测量精度高,速度快,提高了铝基片厚度测量的精准度。

本发明是通过下述技术方案来实现的。

根据本发明实施例提供的一种铝基片厚度高精度在线快速测量装置,包括安装在基础平台上的水平驱动装置、垂直驱动装置和传送轨,所述传送轨位于水平驱动装置前侧部,垂直驱动装置位于水平驱动装置和传送轨之间;

所述水平驱动装置上设有一对姿态调整装置,每个姿态调整装置上安装有激光出射头,一对激光出射头上分别连接有光纤;

所述垂直驱动装置上安装有凸轮组合、杠杆组合和导向基座;所述导向基座中贯穿有导向杆;所述凸轮组合连接杠杆组合,杠杆组合连接至导向杆,导向杆上安装有铝基片托,铝基片托上方与传送轨料盒中的铝基片对接;

通过动力机构驱动凸轮组合带动杠杆组合顶起导向杆,从而逐个带动若干铝基片依次上升至一对激光出射头对射进行铝基片厚度的测量。

作为优选,所述水平驱动装置和垂直驱动装置由伺服电缸直驱。

作为优选,一对姿态调整装置安装在水平驱动装置上方的支架上,每个姿态调整装置上的激光出射头在同一水平线上,且一对激光头位于传送轨上方。

作为优选,所述凸轮组合包括若干个连接在凸轮转动轴上的凸轮,每两个凸轮一组以凸轮凸起呈螺旋线分布方式固定在凸轮转动轴上,凸轮转动轴与电机的传动系统相连。

作为优选,所述杠杆组合包括连接在凸轮转动轴下方的杠杆固定轴,若干个杠杆分别独立地连接在凸轮固定轴上,杠杆另一端与导向基座中贯穿的导向杆对接。

作为优选,所述导向基座为框型架,在框型架顶部设有若干穿孔,导向杆贯穿在若干穿孔中。

作为优选,所述导向杆上安装有铝基片托,铝基片托用于顶起传送轨上放置的铝基片料盒中的铝基片。

相应地,本发明进而给出了一种所述装置的铝基片厚度高精度在线快速测量方法,包括如下步骤:

1)传送轨将放置有铝基片的料盒传送至测量位置,定位气缸将料盒固定;

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