[发明专利]一种类金刚石保护性涂层及其制备方法

摘要

本发明属于材料表面改性技术领域，特别涉及一种类金刚石保护性涂层及其制备方法。本发明提供的类金刚石保护性涂层的制备方法，包括以下步骤：采用空心阴极放电等离子体化学气相沉积技术在基体表面依次沉积硅掺杂类金刚石底层和类金刚石层。本发明首先采用空心阴极放电等离子体化学气相沉积技术在基体表面依次沉积硅掺杂类金刚石底层，利用空心阴极效应，硅元素嵌入到基体内，能够显著提高类金刚石层与基体的结合强度；然后采用空心阴极放电等离子体化学气相沉积技术在硅掺杂类金刚石底层表面沉积类金刚石层，得到硬度高、光滑致密、摩擦性能好的类金刚石保护性涂层。