[发明专利]自适应温度芯片量产校准方法及系统有效

专利信息
申请号: 202010120541.3 申请日: 2020-02-26
公开(公告)号: CN111366837B 公开(公告)日: 2022-03-25
发明(设计)人: 张伟 申请(专利权)人: 上海申矽凌微电子科技有限公司
主分类号: G01R31/28 分类号: G01R31/28;G01K15/00
代理公司: 上海段和段律师事务所 31334 代理人: 李佳俊;郭国中
地址: 201108 上海市闵*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供了一种自适应温度芯片量产校准方法及系统,包括:步骤S1:温度芯片在量产时仅测量偏置电压V1,参考电压V2,偏置电流I1,静态工作电流I2;步骤S2:从预设的自适应表格中寻找相匹配的数据,得到温度的校准值TrimT,同时将此值写入温度芯片中;如果没有找到相匹配的数据,则根据相同工艺条件下对应的温度偏差统计ΔTinit=f(V1,V2,I1,I2),从而得到温度偏差的校准值ΔTinit。本发明自适应地纠正校准参数保证了系统运行的高效。无论是转塔式还是振动盘式的温度生产测量装置,其测试准确度和效率都得到了提高。
搜索关键词: 自适应 温度 芯片 量产 校准 方法 系统
【主权项】:
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