[发明专利]自适应温度芯片量产校准方法及系统有效
申请号: | 202010120541.3 | 申请日: | 2020-02-26 |
公开(公告)号: | CN111366837B | 公开(公告)日: | 2022-03-25 |
发明(设计)人: | 张伟 | 申请(专利权)人: | 上海申矽凌微电子科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01K15/00 |
代理公司: | 上海段和段律师事务所 31334 | 代理人: | 李佳俊;郭国中 |
地址: | 201108 上海市闵*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 自适应 温度 芯片 量产 校准 方法 系统 | ||
1.一种自适应温度芯片量产校准方法,其特征在于,包括:
步骤S1:温度芯片在量产时仅测量偏置电压V1,参考电压V2,偏置电流I1,静态工作电流I2;
步骤S2:从预设的自适应表格中寻找相匹配的数据,得到温度的校准值TrimT,同时将此值写入温度芯片中;如果没有找到相匹配的数据,则根据相同工艺条件下对应的温度偏差统计ΔTinit=f(V1,V2,I1,I2),从而得到温度偏差的校准值ΔTinit;
步骤S3:从NT颗芯片中,选择一颗芯片传送到温度检验腔室,重新测量V1,V2,I1,I2以及实际的温度误差ΔTpost,将这5个参数记录到预设的自适应表格中,如果V1,V2,I1,I2所定位的ΔTinit>ΔTpost,此数据表所对应的温度误差将得到修正;
所述温度偏差统计函数f(V1,V2,I1,I2)=∑f(i);
计算出参数的平均值,其对应的调节函数是f(i)=ki*{Avg(i)-i}+bi;
ki表示关于参数i的线性关系的系数;
bi表示关于参数i的线性关系的偏移。
2.根据权利要求1所述的自适应温度芯片量产校准方法,其特征在于,所述的温度检验腔室:
是固定的温度点,不受外界的环境影响的密闭腔室,接受外界的已测试的芯片,用于纠正温度的偏差。
3.根据权利要求1所述的自适应温度芯片量产校准方法,其特征在于,所述自适应的数据表的内容包括:
偏置电压V1、参考电压V2、偏置电流I1、静态工作电流I2以及温度偏差的校准值ΔTinit;
温度腔室测量后添加在自适应的数据表后,在测试站测试出前四个参数后,测试系统将从自适应表中寻找和已测试参数相接近的数据,从而找到ΔTinit的值;
如果没有接近的数据,则使用调节函数f(i)计算出ΔTinit。
4.根据权利要求3所述的自适应温度芯片量产校准方法,其特征在于,所述相接近的数据指误差小于预设误差范围。
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