[发明专利]用于检查玻璃基板的开路/短路检查机及其检查方法有效
申请号: | 202010108499.3 | 申请日: | 2020-02-21 |
公开(公告)号: | CN111610461B | 公开(公告)日: | 2022-12-13 |
发明(设计)人: | 黄文炯 | 申请(专利权)人: | 兴城科技股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/50 | 分类号: | G01R31/50;G01R31/52;G01N21/958 |
代理公司: | 北京市汉坤律师事务所 11602 | 代理人: | 魏小薇;吴丽丽 |
地址: | 中国台湾桃园市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本公开涉及用于检查玻璃基板的开路/短路检查机及其检查方法。一种检查玻璃基板的检查机,其中所述玻璃基板包括分别具有面板电路的多个面板,且各个所述面板电路的至少其中之一为具有短路和/或开路的缺陷电路,包含位置扫描装置,设置于所述玻璃基板上方,以及发光装置,设置于所述玻璃基板下方,且发出反向光照射所述缺陷电路,以使所述位置扫描装置进行第一位置扫描,其中当所述位置扫描装置发出正向光与侧向光照射所述缺陷电路时,所述位置扫描装置进行第二位置扫描,将所述第一位置扫描与所述第二位置扫描的结果相加,以获得各个所述缺陷电路的各个所述短路和和/或各个所述开路的确切位置。 | ||
搜索关键词: | 用于 检查 玻璃 开路 短路 及其 方法 | ||
【主权项】:
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