[发明专利]用于检查玻璃基板的开路/短路检查机及其检查方法

权利要求书

1.一种开路/短路检查机，用于包括分别具有电路的多个面板的玻璃基板，

包括：

气浮平台；

测量平台；

凹槽，设置于所述气浮平台与所述测量平台之间；

发光装置，设置于所述凹槽中，且沿着所述凹槽水平地移动，用于发出反向光；以及

位置扫描装置，设置于所述凹槽上方，用于当各所述电路的至少其中之一具有短路和/或开路时，使所述反向光沿着所述凹槽照射位于所述凹槽上方的具有所述短路和/或所述开路的各所述电路，并沿着所述凹槽上方进行第一位置扫描以确认具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的所述短路和/或所述开路的第一位置，且所述位置扫描装置用于发出正向光与侧向光，当所述正向光与所述侧向光同时照射具有所述短路和/或所述开路的各所述电路时，所述位置扫描装置沿着所述凹槽上方进行第二位置扫描以确认具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的所述短路和/或所述开路的第二位置，将所述第一位置与所述第二位置相加，以获得具有所述短路和/或所述开路的各所述电路的各所述短路和/或各所述开路的确切位置。

2.根据权利要求1所述的开路/短路检查机，其中所述位置扫描装置具有位置检查传感器及自动光学检测AOI装置，所述位置检查传感器用于侦测所述开路，所述AOI装置用于侦测所述短路，所述发光装置包括具有滑轨的装置支架与点光源，所述点光源用于发出所述反向光，且设置于所述滑轨上以使所述点光源沿着所述凹槽水平移动，所述AOI装置发出所述正向光与所述侧向光，所述正向光自所述AOI装置竖直向具有所述短路和/或所述开路的各所述电路照射，所述侧向光自所述玻璃基板的一侧上方向具有所述短路和/或所述开路的各所述电路照射。

3.根据权利要求2所述的开路/短路检查机，其中所述反向光自所述凹槽中向所述玻璃基板照射，且当所述发光装置设置于所述凹槽中时，所述点光源与所述玻璃基板间的工作距离是相距100mm，当所述发光装置发出所述反向光时，所述AOI不发出所述正向光与侧向光，而当所述AOI装置发出所述正向光与所述侧向光时，所述发光装置则不发出所述反向光。

4.根据权利要求2所述的开路/短路检查机，还包括第一至第四线传感器、第一与第二对准相机与龙门机构，其中所述龙门机构具有第一与一第二龙门移动滑轨和横梁，所述第一与所述第二龙门移动滑轨分别设置于所述测量平台的第一侧的外缘与第二侧的外缘，且所述第一与所述第二龙门移动滑轨实质上竖直于所述凹槽，所述横梁设置于所述第一龙门移动滑轨与所述第二龙门移动滑轨上，且位于所述测量平台上方，所述第一至所述第四线传感器、所述第一与所述第二对准相机、所述位置检查传感器及所述AOI装置设置于所述横梁的不同高度和/或位置上，所述玻璃基板的右上角与右下角分别具有第一定位标志与第二定位标志，所述多个面板分为m列，每列具有n个面板，m与n为正整数，当所述开路/短路检查机开始第一次线扫描时，所述第一对准相机对准所述第一定位标志，所述第二对准相机对准所述第二定位标志，所述第一与所述第二线传感器分别依据第一线传感器间距调整方向与第二线传感器间距调整方向移动至所述第一列的第一个面板上的第一与第二线传感器扫描启始位置，同时，所述第三与所述第四线传感器则分别依据第三线传感器间距调整方向与第四线传感器间距调整方向移动至邻接所述第一列的第二列的第一个面板上的第三与第四线传感器扫描启始位置，以依据线扫描移动方向进行所述第一次线扫描，以此类推，直至所述多个面板全部被扫描完毕；而后使具有所述开路和/或所述短路的各所述电路逐一被移动至位于所述凹槽上方的位置，以进行所述第一位置扫描与所述第二位置扫描。