[发明专利]监测液晶精度的方法、重力感应机台及存储介质在审

专利信息
申请号: 202010081973.8 申请日: 2020-02-06
公开(公告)号: CN111272455A 公开(公告)日: 2020-06-12
发明(设计)人: 张隆贤 申请(专利权)人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: G01M99/00 分类号: G01M99/00;G01G19/62
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 杨艇要
地址: 518132 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种监测液晶精度的方法、重力感应机台及存储介质,通过机台表面安装多个重量传感器,并通过真空吸盘吸附基板使基板充分接触重量传感器,重力感应机台检测液晶滴入前后基板重量的数据变化,通过比较基板上前后的重量数据差值,与预先设置的液晶精度进行比较,进而可以判断制程中液晶量是否符合标准,并且可以在超出预设阈值之后,可以发送警示信号,进而可以及时拦截该基板,避免造成更大的损失。
搜索关键词: 监测 液晶 精度 方法 重力 感应 机台 存储 介质
【主权项】:
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