[发明专利]一种毒气吸附装置及其制备方法在审
| 申请号： | 202010055385.7 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN111054185A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 李华伟;严圣勇;向奔 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | B01D53/04 | 分类号： | B01D53/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 许庆胜 |
| 地址： | 510060 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及毒气吸附的技术领域，尤其涉及一种毒气吸附装置及其制备方法。本申请第一方面提供了一种毒气吸附装置，所述装置包括：硅晶片；纳米凹槽，所述纳米凹槽设置在所述硅晶片的正面，所述纳米凹槽的凹陷深度为2‑8nm，所述纳米凹槽的直径为2～3μm；玻璃基片，所述硅晶片的背面键合在所述玻璃基片上。本申请提供了一种毒气吸附装置及其制备方法，使得能同时吸附多种有毒气体，且能重复使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 毒气 吸附 装置 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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