[发明专利]一种扫描电子显微镜工作距离测量及预警装置在审
| 申请号： | 202010026167.0 | 申请日： | 2020-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN111128654A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 杨艳娜;郭新勇;张康;李盛 | 申请（专利权）人： | 河南河大科技发展有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/244;H01J37/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 475000 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种扫描电子显微镜工作距离测量及预警装置。本发明包括：物镜极靴(1)；样品台（2）；距离传感器（3）；报警器(4)；摄像头（5）。本发明适用于扫描电子显微镜的工作距离监控，当样品台距物镜极靴距离过近时，距离传感器会及时报警并阻断当前操作，避免样品碰到极靴，造成电镜故障。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 电子显微镜 工作 距离 测量 预警 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河南河大科技发展有限公司，未经河南河大科技发展有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010026167.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种基于多标签学习的藏医诊断辅助装置
- 下一篇：一种女儿墙组合操作平台
