[发明专利]一种扫描电子显微镜工作距离测量及预警装置在审
| 申请号： | 202010026167.0 | 申请日： | 2020-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN111128654A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 杨艳娜;郭新勇;张康;李盛 | 申请（专利权）人： | 河南河大科技发展有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/244;H01J37/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 475000 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 电子显微镜 工作 距离 测量 预警 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种扫描电子显微镜工作距离测量及预警装置，该装置包括：物镜极靴(1) ；样品台（2）；距离传感器（3）；报警器(4)；摄像头（5）。
2.根据权利要求书1所述的物镜极靴（1），是扫描电镜的核心部件。
3.根据权利要求书1所述的样品台（2），是放置样品的部件，在电镜观察时，样品安装在样品台上，放置于真空光路中。
4.根据权利要求书1所述的距离传感器（3），用来实时监控极靴和样品台上样品顶部之间的距离。
5.根据权利要求书1所述的报警器（4），当极靴（1）、样品台（2）两者之间的距离小于预设值时，发出警报并阻断当前操作。
6.根据权利要求书1所述的摄像头（5），对称安装于镜筒内部，将样品台上样品位置及其与极靴的距离清晰的呈现在控制器的屏幕上。
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