[发明专利]一种扫描电子显微镜工作距离测量及预警装置

说明书

本发明涉及一种扫描电子显微镜工作距离测量及预警装置。本发明包括：物镜极靴(1)；样品台（2）；距离传感器（3）；报警器(4)；摄像头（5）。本发明适用于扫描电子显微镜的工作距离监控，当样品台距物镜极靴距离过近时，距离传感器会及时报警并阻断当前操作，避免样品碰到极靴，造成电镜故障。

技术领域

本发明公开一种扫描电子显微镜工作距离测量及预警装置。

背景技术

电子显微镜(Electron Microscope,简称EM)，以下称电镜，随着科学技术的发展，电镜在研究领域起着不可替代的作用，其应用越来越广泛，在材料科学、生物科学、医学等领域发挥着重要作用。要想拍摄出高清晰的图片，就需要设置电镜的工作条件。电镜的工作条件包括很多，加速电压、束流束斑、工作距离、光阑大小、明暗对比度、探测器的选择等，其中工作距离有着很大的影响。工作距离指调准焦点时，物镜极靴的边缘到样品平面之间的垂直距离。在进行电镜实验时，通常可以改变样品的Z轴位置来调节工作距离，对于不同的样品和实验条件，可能需要不同的工作距离来准确聚焦。但是，由于极靴和样品台之间的空间极为狭小，故非常容易过度、过快调节使样品碰到极靴。本发明采用工作距离传感器及报警系统，当样品距离极靴顶端接近设定值时，报警器发出警报，并阻断当前操作，避免样品碰触到极靴，避免其损坏。

发明内容

本发明提供一种扫描电子显微镜工作距离测量及预警装置，该装置包括：物镜极靴(1) ；样品台（2）；距离传感器（3）；报警器(4)；摄像头（5）。

距离传感器(3)安装在电镜镜筒内，实时监控极靴、样品台之间的距离，当两者之间的距离小于设定值时，报警器发出警报并阻断当前操作，提示操作人可以及时调整样品与极靴之间的距离；对称安装两个180度扫描的耐真空特殊材质摄像头（5）于镜筒内部，对内部环境进行实时监控。

本发明的有益效果是：方便快速调节工作距离，随时了解样品与极靴的距离，避免样品碰触到极靴，保护极靴。

附图说明

附图1本发明结构示意图。

具体实施方式

以下以具体实施例来说明本发明的技术方案，但本发明的保护范围不限于此：

如图所示，距离传感器（3）安装于样品室内，可随时监控工作距离。进行电镜实验需要会不断调整样品台（2）在垂直方向上的位置，以获得聚焦精确的图像。在调焦过程中，当样品台（2）距离极靴（1）的小于预设值（一般为2mm）时，距离传感器（3）会传输出相应的信号，引发报警器（4）发出警报，并触发保护，强制终止当前操作。摄像头（5-1）和（5-2）对称安装在镜筒内部，监控样品台上样品与极靴之间的距离。