[发明专利]激光蚀刻设备在审
| 申请号： | 202010016461.3 | 申请日： | 2020-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN111451652A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 安珠燮;吴泽溢;韩圭完;高永焕;裵允更 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;B23K26/082;B23K26/064 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 陈亚男;尹淑梅 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种激光蚀刻设备。所述激光蚀刻设备用于在具有多层结构的显示面板中形成孔，激光蚀刻设备包括：光源，用于发射具有第一能量分布的第一激光束；以及扫描器，用于沿圆形路径将第二激光束辐射到对象物体上，第二激光束具有不同于第一能量分布的第二能量分布。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 蚀刻 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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