[发明专利]激光蚀刻设备

说明书

公开了一种激光蚀刻设备。所述激光蚀刻设备用于在具有多层结构的显示面板中形成孔，激光蚀刻设备包括：光源，用于发射具有第一能量分布的第一激光束；以及扫描器，用于沿圆形路径将第二激光束辐射到对象物体上，第二激光束具有不同于第一能量分布的第二能量分布。

本申请要求于2019年1月21日提交的第10-2019-0007581号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请出于所有目的通过引用包含于此，如同在此进行充分地阐述一样。

技术领域

发明的示例性实施方式总体上涉及一种激光蚀刻设备，更具体地，涉及一种被构造为通过将激光束辐射到显示面板来形成孔的激光蚀刻设备以及使用该激光蚀刻设备的激光蚀刻方法。

背景技术

总体上，在诸如有机发光显示设备的显示面板中形成孔，其中，相机模块或传感器安装在该孔中。孔通常形成在显示面板的非显示区域中。然而，最近由于显示器的尺寸变窄，因此需要在显示区域中形成孔。

在该背景技术部分中公开的上述信息仅用于理解发明构思的背景，因此，它可以包含不构成现有技术的信息。

发明内容

申请人发现，如果通过使用类似钻孔的机械方法在显示区域中形成孔，则钻孔部分的剖面是不均匀的，这可能干扰显示器的观看。此外，氧和湿气会容易地穿过不均匀的剖面，从而使显示质量劣化。可选地，如果通过使用一般的激光器钻孔，则被钻入的该孔的尺寸会由于激光束光斑的尺寸而受到限制。因此，因为相机模块或传感器需要在大孔中安装，所以会难以使用一般的激光器在多层结构(诸如显示面板的显示区域)中钻出大的孔。

根据发明的原理和示例性实施方式构造的激光蚀刻设备和使用该激光蚀刻设备的激光蚀刻方法能够稳定地钻出比激光束的光斑大的孔。例如，通过使用根据发明的一些示例性实施方式构造的激光蚀刻设备，大且干净的孔可以形成在显示面板的显示区域中，使得产品质量稳定。因此，可以增强生产率，并且可以确保稳定的产品质量。

发明构思的附加特征将在下面的描述中阐述，并且部分地将通过描述而明显，或者可以通过发明构思的实践而获知。

根据发明的一个方面，激光蚀刻设备包括发射具有第一能量分布的第一激光束的光源和沿圆形路径将第二激光束辐射到对象物体上的扫描器，第二激光束具有不同于第一能量分布的第二能量分布。

激光蚀刻设备还可以包括布置在光源与扫描器之间以将第一激光束转换成第二激光束的衍射光学装置，第二激光束具有线性光束分布。

第二激光束可以从衍射光学装置发出，并且可以在由扫描器限定的圆形路径中可旋转。

第二激光束可以在与圆形路径的半径大致平行的方向上并沿圆形路径可旋转。

第二激光束可以具有矩形剖面。

第二激光束可以具有梯形剖面。

圆形路径可以包括环形形状。

扫描器可以包括透光透镜，并且激光束的尺寸可以随透光透镜的数值孔径而变化。

扫描器可以包括被构造为在激光束的路径中旋转并限定圆形路径的一对楔形透镜。

对象物体可以包括显示面板的显示区域。

应理解的是，前面的一般描述和下面的详细描述是示例性和说明性的，并且意图提供对如要求保护的发明的进一步解释。

附图说明

附图示出了发明的示例性实施例，并且与描述一起用于解释发明构思，包括附图以提供对发明的进一步理解，并且附图被包含在该说明书中并构成该说明书的一部分。

图1是其中通过根据发明的原理构造的激光蚀刻设备而形成孔的显示面板的示例性实施例的透视图。