[发明专利]激光蚀刻设备在审
| 申请号： | 202010016461.3 | 申请日： | 2020-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN111451652A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 安珠燮;吴泽溢;韩圭完;高永焕;裵允更 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;B23K26/082;B23K26/064 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 陈亚男;尹淑梅 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 蚀刻 设备 | ||
1.一种激光蚀刻设备，所述激光蚀刻设备包括：
光源，用于发射具有第一能量分布的第一激光束；以及
扫描器，用于沿圆形路径将第二激光束辐射到对象物体上，所述第二激光束具有不同于所述第一能量分布的第二能量分布。
2.根据权利要求1所述的激光蚀刻设备，所述激光蚀刻设备还包括布置在所述光源与所述扫描器之间以将所述第一激光束转换成所述第二激光束的衍射光学装置，所述第二激光束具有线性光束分布。
3.根据权利要求2所述的激光蚀刻设备，其中，所述第二激光束从所述衍射光学装置发出，并且在由所述扫描器限定的所述圆形路径中可旋转。
4.根据权利要求3所述的激光蚀刻设备，其中，所述第二激光束在与所述圆形路径的半径平行的方向上并沿所述圆形路径可旋转。
5.根据权利要求2所述的激光蚀刻设备，其中，所述第二激光束具有矩形剖面。
6.根据权利要求2所述的激光蚀刻设备，其中，所述第二激光束具有梯形剖面。
7.根据权利要求1所述的激光蚀刻设备，其中，所述圆形路径包括环形形状。
8.根据权利要求1所述的激光蚀刻设备，其中，所述扫描器包括透光透镜，并且
所述激光束的尺寸随所述透光透镜的数值孔径而变化。
9.根据权利要求1所述的激光蚀刻设备，其中，所述扫描器包括被构造为在所述激光束的路径中旋转并限定所述圆形路径的一对楔形透镜。
10.根据权利要求1所述的激光蚀刻设备，其中，所述对象物体包括显示面板的显示区域。
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