[发明专利]加工装置有效
| 申请号： | 202010008612.0 | 申请日： | 2020-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN111451902B | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 服部真人 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24B27/00 | 分类号： | B24B27/00;B24B55/12;B24B7/22;B24B47/20;B24B41/06;B24B55/06;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 乔婉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供加工装置，将被加工物的清洗时所用的二流体快速地排出到加工室的外部。在从与保持面(50a)垂直的方向倾斜的喷嘴(72)朝向卡盘工作台(5)所保持的被加工物(W)的上表面(Wa)喷射二流体(M)而对被加工物(W)的上表面(Wa)进行清洗时，利用配设于卡盘工作台(5)与分隔板(161)之间的气液分离单元(70)的顶板(700)及侧板(701)将在被加工物(W)的上表面(Wa)上反射而朝向分隔板(161)的方向的二流体(M)接住并从配设于加工室(16)的底部的排出口(162)排出，从而防止二流体(M)成为喷雾而扩散到加工室(16)的内部的空间，削减二流体(M)的排出所花费的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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