[发明专利]加工装置

权利要求书

1.一种加工装置，其具有：

卡盘工作台，其具有对被加工物进行保持的保持面；

加工单元，其利用加工器具对该卡盘工作台所保持的被加工物的上表面进行加工；

清洗单元，其具有朝向该被加工物的上表面喷射将空气和水混合而得的二流体的喷嘴，通过该喷嘴所喷射的二流体对该被加工物的上表面进行清洗；以及

水箱，其围绕该卡盘工作台，将水接住并从排水口排出，

其中，

该清洗单元具有：

气液分离单元，其与该卡盘工作台相邻，将该喷嘴所喷射的该二流体接住并进行气液分离；以及

移动单元，其使该喷嘴水平移动至该保持面的上方的区域的内外，

该喷嘴的喷射方向从与该保持面垂直的方向倾斜，

该二流体从该保持面的中心侧朝向该气液分离单元，

该气液分离单元具有：顶板；从该顶板垂下的多个侧板；以及供该二流体进入的入口，

从该入口进入的该二流体与该侧板和该顶板接触而气液分离成水和空气，使该空气向大气开放，使该水从该排水口排出，

该气液分离单元具有从该入口的上边向下方向延伸的檐，

从该入口进入的该二流体依次与该侧板、该顶板、该檐接触，形成该二流体的旋涡而进行气液分离。

2.根据权利要求1所述的加工装置，其中，

该气液分离单元在远离该入口的位置具有容积大的区域，从该入口进入的该二流体在该大的区域中使流速降低而进行气液分离。

3.根据权利要求1所述的加工装置，其中，

该清洗单元对该卡盘工作台的该保持面进行清洗。