[发明专利]涂覆基板的方法和涂覆基板的涂覆设备在审
| 申请号： | 201980099178.7 | 申请日： | 2019-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN114207181A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 马库斯·哈尼卡;朴炫灿 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;H01J37/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种用具有三个或更多个阴极组件的阴极阵列涂覆基板的方法，所述阴极组件具有可旋转的对应的磁体组件。所述方法包括：在关断所述阴极阵列时，将所述基板移动到第一位置；在第一角扇区中以往复运动的方式移动所述磁体组件中的第一磁体组件时，在第一操作中涂覆在所述第一位置的所述基板；在将所述基板移动到第二位置之前，关断所述阴极阵列；在关断所述阴极阵列时，将所述基板移动到所述第二位置；在另一个角扇区中以往复运动的方式移动所述第一磁体组件时，涂覆在所述第二位置的所述基板。 | ||
| 搜索关键词： | 涂覆基板 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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