[发明专利]涂覆基板的方法和涂覆基板的涂覆设备

权利要求书

1.一种用具有三个或更多个阴极组件(100)的阴极阵列涂覆基板(10)的方法，所述阴极组件具有可旋转的对应的磁体组件(125)，所述方法包括：

在关断所述阴极阵列时，将所述基板(10)移动到第一位置；

在第一角扇区(112)中以往复运动的方式移动所述磁体组件(125)中的第一磁体组件时，在第一操作中涂覆(I)在所述第一位置的所述基板(10)；

在将所述基板移动到第二位置之前，关断所述阴极阵列；

在关断所述阴极阵列时，将所述基板(10)移动到所述第二位置；

在另一个角扇区(212)中以往复运动的方式移动所述第一磁体组件(125)时，涂覆在所述第二位置的所述基板(10)。

2.如权利要求1所述的方法，进一步包括：

在所述第一操作之后，关断所述阴极阵列；

将所述第一磁体组件从所述第一角扇区移动到第二角扇区；

在与所述第一角扇区(112)不同的第二角扇区(114)中以往复运动的方式移动所述第一磁体组件时，在第二操作中涂覆(II)在所述第一位置的所述基板(10)，其中在将所述基板移动到所述第二位置之前切换所述基板是在所述第二操作之后关断所述基板，并且其中在另外的角扇区(212)中以往复运动的方式移动所述第一磁体组件(125)时涂覆(III)在所述第二位置的所述基板(10)是在第三角扇区(212)中以往复运动的方式移动所述第一磁体组件(125)时在第三操作中涂覆(III)在所述第二位置的所述基板(10)；

所述方法进一步包括：

在所述第三操作之后，关断所述阴极阵列；

将所述第一磁体组件从所述第三角扇区移动到第四角扇区；以及

在与所述第三角扇区(212)不同的所述第四角扇区(214)中以往复运动的方式移动所述第一磁体组件时，在第四操作中涂覆(IV)在所述第二位置的所述基板(10)。

3.如权利要求1至2中任一项所述的方法，其中所述基板的所述第一位置和所述基板的所述第二位置具有对应于所述阴极阵列的三个或更多个阴极的间距的一半的距离。

4.如权利要求3所述的方法，其中所述第一位置在第一方向上与相对于所述阴极阵列的中心基板位置偏移了所述间距的1/4，并且所述第二位置在与所述第一位置相反的第二方向上与相对于所述阴极阵列的中心基板位置偏移了所述间距的1/4。

5.如权利要求1至4中任一项所述的方法，其中所述第一磁体组件可围绕定位在所述阴极阵列的第一阴极组件内的第一轴线(A)旋转。

6.如权利要求5所述的方法，所述阴极阵列进一步包括：

第二阴极组件和对应的第二磁体组件；以及

第三阴极组件和对应的第三磁体组件。

7.如权利要求6所述的方法，其中所述第二磁体组件可围绕定位在所述阴极阵列的所述第二阴极组件内的第二轴线(A)旋转，并且所述第三磁体组件可围绕定位在所述阴极阵列的所述第三阴极组件内的第三轴线(A)旋转。

8.如权利要求6至7中任一项所述的方法，其中所述第二磁体组件和所述第一磁体组件以同步的方式在所述第一角扇区、所述第二角扇区、所述第三角扇区以及所述第四角扇区中移动。

9.如权利要求2所述的方法，其中所述第三角扇区等于所述第一角扇区，并且所述第四角扇区等于所述第二角扇区。

10.如权利要求2所述的方法，其中所述第三角扇区等于所述第二角扇区，并且所述第四角扇区等于所述第一角扇区。

11.如权利要求1至10中任一项所述的方法，其中所述涂覆包括将所述第一磁体组件在所述角扇区的第一转向角位置与所述角扇区的第二转向角位置之间来回地移动两次或更多次。