[发明专利]用于全光晶圆验收测试的方法和系统在审
| 申请号： | 201980090367.8 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN113366283A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 吉安洛伦佐·马西尼;罗曼·布鲁克;卡姆-扬·霍恩;阿蒂拉·梅基什 | 申请（专利权）人： | 卢克斯特拉有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/353 | 分类号： | G01D5/353;G02B6/26;G02B6/34 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 桑敏 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 用于全光晶圆验收测试的方法和系统可以包括芯片上的光收发器，该光收发器包括第一、第二和第三光栅耦合器、包括第一和第二相位调制器的干涉仪、分路器和多个光电二极管。可以经由第一光栅耦合器在芯片中接收第一输入光信号，其中第一输入光信号可以耦合到干涉仪。可以经由第二光栅耦合器将输出光信号耦合出芯片，用于对干涉仪的第一测量。第二输入光信号可以耦合到第三光栅耦合器，并且第二输入光信号的一部分可以经由分路器传送到多个光电二极管中的每一个。可以使用光电二极管基于第二输入信号来产生电压，该电压可以偏置第一相位调制器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 全光晶圆 验收 测试 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于卢克斯特拉有限公司，未经卢克斯特拉有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980090367.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
