[发明专利]活性气体生成装置在审
| 申请号： | 201980080397.0 | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN113179676A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 渡边谦资;有田廉 | 申请（专利权）人： | 东芝三菱电机产业系统株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 戚宏梅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种活性气体生成装置，能够有意图地减弱活性气体到达后级的处理空间之前的区域中的电场强度。本发明通过高电压施加电极部(1)与接地电位电极部(2)的组合来构成在内部具有放电空间(6)的电极对。高电压施加电极部(1)作为主要构成部而具有电极用电介质膜(11)以及形成在电极用电介质膜(11)的上表面上的金属电极(10)。辅助导电膜(18)以俯视时不与金属电极(10)重叠且包围金属电极(10)的方式形成为圆环状。金属制的电极按压部件(8)在俯视时呈圆环状，以与辅助导电膜(18)的上表面的一部分接触的形态设置，并被固定于金属制的基底凸缘(4)。基底凸缘(4)被赋予接地电位。 | ||
| 搜索关键词： | 活性 气体 生成 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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